[发明专利]一种自清洗腔体有效
| 申请号： | 201310106579.5 | 申请日： | 2013-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103170486A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 张享倩;王波雷;姬丹丹;李伟;王浩 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种自清洗腔体，其特征在于，其包括腔体，自清洗腔体的主体；喷水嘴，清洗时的出水口；排液口，用于排出清洗硅片和腔体时的液体，其中，喷水嘴安装在腔体外部，排液口在腔体下部。
2.根据权利要求1所述的自清洗腔体，其特征在于，所述的喷水嘴有上下两排，其中，所述的喷水嘴上下位置面对面正对。
3.根据权利要求2所述的喷水嘴，其特征在于，进液软管的一端伸入喷水嘴内。
4.根据权利要求3所述的自清洗腔体，其特征在于，所述的进液软管没有伸入喷水嘴的部分安装有调压阀。
5.根据权利要求4所述的自清洗腔体，其特征在于，所述的调压阀之前有至少一个手阀或气动阀。
6.根据权利要求1所述的自清洗腔体，其特征在于，所述的腔体上部有排气管。
7.根据权利要求1所述的自清洗腔体，其特征在于，其自清洗的步骤为：
1）开启手阀和气动阀，调节调压阀控制水流流量，开始清洗腔体；
2）清洗完毕后，关闭手阀、气动阀和调压阀。
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