[发明专利]控制装置、平板印刷装置及制造物品的方法

说明书

技术领域

本发明涉及控制装置、平板印刷装置及制造物品的方法。

背景技术

图24是典型的2自由度控制系统的框图。参照图24，通过下式给出从输入（目标值）r到输出（受控变量）y的传递函数：

y=(KP1+KP+FP1+KP)r...(1)]]>

其中，右侧的第一项是反馈（FB）项，右侧的第二项是前馈（FF）项。目标值r和受控变量y之间的差是控制误差e，2自由度控制系统旨在将控制误差e设为零（使控制误差e接近于0）。

参照等式（1），从对于F=1/P的y=r可见，当FF控制器的传递函数（FF增益）被定义为受控对象的传递函数（特性）的反函数时，能够获得理想的目标值响应（控制误差的减少）。以此方式，受控对象的高准确度建模（使用传递函数和数值对受控对象的高准确度表示）确定目标值响应的性能。

在对受控对象建模时，受控对象通常已知被表示为拉普拉斯算子s的多项式。只要受控对象能够被精确表示为拉普拉斯算子s的多项式，则其反函数也可以表示为拉普拉斯算子s的多项式，由此允许最佳FF控制。在运动体控制领域，已经报导了通过目标位置的一阶微分（速度）的FF和二阶微分（加速度）的FF（此外，目标位置的三阶微分（jerk）的FF以及四阶微分的FF）来改进目标值响应。然而，难于将受控对象的特性完全准确地表示为拉普拉斯算子s的多项式。此外，虽然不仅有使用拉普拉斯算子s的多项式的建模技术，而且各种建模技术已经被更早地尝试，但是在任何这些建模技术中受控对象都无法被完全准确地建模，所以无法防止建模误差。

受控对象的特性变化是建模误差的一个因素。例如，在用于移动载体的移动体控制中，受控对象的特性根据负荷的重量以及路面的状态而变化。日本专利公开No.2009-237916提出了准备若干模型来基于实际响应选择适当模型的技术，而不是对于受控对象排他地使用一个模型，来应对受控对象的特性的这种变化。

在以2自由度控制系统为代表的控制系统中，如上所述，目标值响应的性能取决于对受控对象建模的准确度。因此，随着控制系统所需的性能变得更高，受控对象需要以更高准确度被建模，从而相当大的负荷被施加到建模操作上。通过日本专利公开No.2009-237916中描述的技术对建模误差的减小受预先准备的模型所限制。

发明内容

本发明提供了例如在控制误差的减小方面有利的控制装置。

根据本发明的第一方面，提供了一种控制装置，包括前馈控制器，该前馈控制器被配置为执行受控对象的前馈控制，所述控制装置被配置为：获得通过对受控对象施加第一操作变量而测量的受控对象的第一响应数据序列，并且假定如果通过将第一操作变量分别乘以作为可以随时间改变的变量的增益而获得的第二操作变量数据序列被施加于受控对象而要获得的受控对象的第二响应数据序列被表示为第一响应数据序列与作为线性组合的系数的增益的线性组合，确定增益以使得第二响应数据序列与目标数据序列之间的差异落入容许度内，并且前馈控制器被配置为基于所确定的增益来生成用于受控对象的前馈操作变量数据序列。

根据本发明的第二方面，提供了一种在对象上形成图案的平板印刷装置，所述平板印刷装置包括：调整设备，被配置为调整对象的状态；和上述控制装置，该控制装置被配置为控制作为受控对象的调整设备。