[发明专利]控制装置、平板印刷装置及制造物品的方法

权利要求书

1.一种控制装置，包括前馈控制器，该前馈控制器被配置为执行受控对象的前馈控制，所述控制装置被配置为：

获得通过对受控对象施加第一操作变量而测量的受控对象的第一响应数据序列，

假定把如果通过将第一操作变量分别乘以作为能够随时间改变的变量的增益而获得的第二操作变量数据序列施加于受控对象而要获得的受控对象的第二响应数据序列被表示为第一响应数据序列与作为线性组合的系数的增益的线性组合，确定增益以使得第二响应数据序列与目标数据序列之间的差异落入容许度内，并且

前馈控制器被配置为基于所确定的增益来生成用于受控对象的前馈操作变量数据序列。

2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制装置被配置为对于通过在不同时刻对受控对象施加第一操作变量而分别获得的多个第一响应数据序列来获得第一响应数据序列。

3.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制装置的控制变量包括受控对象的位置。

4.根据权利要求3所述的控制装置，其中，所述控制装置被配置为针对受控对象移动的多个区域中的每一个区域来确定增益。

5.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制装置的控制变量包括受控对象的温度。

6.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制装置被配置为针对受控对象的响应特性互相不同的受控对象的多个使用条件中的每一个使用条件来确定增益。

7.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制装置包括被配置为存储多个分量数据序列和用于所述多个分量数据序列的线性组合的系数的存储装置，所述多个分量数据序列用于通过多个分量数据序列的线性组合来获得前向操作变量数据序列。

8.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述控制装置包括反馈控制器，所述反馈控制器被配置为执行受控对象的反馈控制以便降低目标数据与受控对象的响应之间的误差。

9.一种在对象上形成图案的平版印刷装置，所述平版印刷装置包括：

调整设备，被配置为调整对象的状态；和

权利要求1中定义的控制装置，被配置为控制作为受控对象的调整设备。

10.一种制造物品的方法，所述方法包括：

使用平版印刷装置在对象上形成图案；以及

处理其上已形成图案的对象来制造物品，

其中，所述平版印刷装置包括：

调整设备，被配置为调整对象的状态；和

控制装置，被配置为控制作为受控对象的调整设备，

其中，所述控制装置包括被配置为执行受控对象的前馈控制的前馈控制器，所述控制装置被配置为：

获得通过对受控对象施加第一操作变量而测量的受控对象的第一响应数据序列，

假定把如果通过将第一操作变量分别乘以作为能够随时间改变的变量的增益而获得的第二操作变量数据序列施加于受控对象而要获得的受控对象的第二响应数据序列被表示为第一响应数据序列与作为线性组合的系数的增益的线性组合，确定增益以使得第二响应数据序列与目标数据序列之间的差异落入容许度内，并且

前馈控制器被配置为基于所确定的增益来生成用于受控对象的前馈操作变量数据序列。