[发明专利]一种超薄多孔氧化铝模板的转移方法无效
| 申请号： | 201310102327.5 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103194778A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 邓晨华;许小红;丁古巧;王芳;秦秀芳 | 申请（专利权）人： | 山西师范大学 |
| 主分类号： | C25D11/12 | 分类号： | C25D11/12 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 041004*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 多孔 氧化铝 模板 转移 方法 | ||
1.一种超薄多孔氧化铝模板的转移方法，包括如下步骤：
（1）将铝片置于电解液中进行第一次氧化；
（2）去除经所述第一次氧化处理后的所述铝片上的多孔氧化铝层，然后再置于所述电解液中进行第二次氧化得到多孔氧化铝模板；
（3）在所述多孔氧化铝模板的正面旋涂保护胶；
（4）将所述多孔氧化铝模板置于腐蚀液中去除铝基；
（5）然后用滤纸或网漏将步骤（4）得到的所述多孔氧化铝模板转移至浸泡液中去除阻挡层；
（6）将步骤（5）得到的所述多孔氧化铝层模板转移至基底上即完成对所述多孔氧化铝模板的转移。
2.根据权利要求1所述的转移方法，其特征在于：在对所述铝片进行所述第一次氧化之前，所述方法还包括对所述铝片进行电化学抛光的步骤。
3.根据权利要求1或2所述的转移方法，其特征在于：所述电解液为草酸水溶液，所述第一次氧化和所述第二次氧化的电压均为30～60V，温度均为0～10℃；
所述第一次氧化的时间为2～6小时，所述第二次氧化的时间为1～9分钟。
4.根据权利要求1或2所述的转移方法，其特征在于：所述电解液为磷酸和乙醇的混合水溶液，所述第一次氧化和所述第二次氧化的电压均为100～195V，温度均为0～10℃；
所述第一次氧化的时间为1～4小时，所述第二次氧化的时间为0.5～5分钟。
5.根据权利要求1或2所述的转移方法，其特征在于：所述电解液为柠檬酸水溶液，所述第一次氧化和所述第二次氧化的电压均为260～300V，温度均为5～10℃；
所述第一次氧化的时间为20～120分钟，所述第二次氧化的时间为10～50分钟。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的转移方法，其特征在于：所述保护胶为PMMA胶。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的转移方法，其特征在于：步骤（2）中去除所述多孔氧化铝层的步骤是在磷酸与铬酸的混合水溶液中进行的。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的转移方法，其特征在于：所述腐蚀液为氯化铜与盐酸的混合水溶液；
所述浸泡液为磷酸溶液。
9.根据权利要求1-7中任一项所述的转移方法，其特征在于：所述基底为玻璃基底、二氧化硅基底或硅基底。
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