[发明专利]振动装置

权利要求书

1.一种振动装置，其特征在于，

具备：

半导体元件；

第一电极及第二电极，其位于所述半导体元件的第一面上；

振动元件；

第三电极及第四电极，其位于所述振动元件的第一面上；

第一连接部，其连接所述第一电极和所述第三电极；

第二连接部，其连接所述第二电极和所述第四电极，

所述半导体元件的热膨胀系数与所述振动元件的热膨胀系数不同，

所述振动元件具有位于所述第三电极和所述第四电极之间的连结部，

所述连结部具有位于所述第三电极和所述第四电极之间的至少一个弯曲。

2.如权利要求1所述的振动装置，其特征在于，具备：

第一突起电极，其位于所述第一电极和所述第三电极之间；

第二突起电极，其位于所述第二电极和所述第四电极之间。

3.如权利要求1或权利要求2所述的振动装置，其特征在于，

所述振动元件具有：

振动部；

基部，其上连结有所述振动部；

支承部，其上连结有从所述基部延伸出的梁部，且所述第三电极位于所述支承部上；

固定部，其经由所述连结部而与所述支承部连结，且所述第四电极位于所述固定部上，

在连结所述支承部与所述固定部的所述连结部上具有至少一个所述弯曲。

4.如权利要求1至权利要求3中的任一项所述的振动装置，其特征在于，

在所述振动元件上，相邻地配置有所述第三电极和所述第四电极。

5.如权利要求1至权利要求4中的任一项所述的振动装置，其特征在于，

所述连结部在俯视观察所述振动元件的方向上具有所述弯曲。

6.如权利要求1至权利要求4中的任一项所述的振动装置，其特征在于，

所述连结部在所述振动元件的厚度方向上具有所述弯曲。