[发明专利]滴状体配置方法及装置、图案形成方法、模板图案的设计方法

说明书

本申请基于且主张2012年3月23日申请的在先日本专利申请第2012-068474号的优先权，此申请案的全部内容以引用的方式并入本文。

技术领域

后述的实施方式总体涉及滴状体配置方法、图案形成方法、滴状体配置装置以及模板的图案的设计方法。

背景技术

压印法是将模板（也称为压模、模型、原版等）压入被转印体并将在模板上形成的图案转印到被转印体上的技术。

在这种压印法中，提出了通过使用具有凸形状的模板来提高作为被转印体的树脂的流动性的技术。

然而，一般而言，在模板上形成的图案的密度不是一样的。为此，即使简单地使用具有凸形状的模板，被转印体的量也可能会发生局部的多或少，转印性可能恶化。

发明内容

本发明要解决的课题在于，提供能够提高对被转印体的图案的转印性的滴状体配置方法、图案形成方法、滴状体配置装置以及模板的图案的设计方法。

根据一实施方式，提供一种滴状体配置方法，在对在模板上形成的图案进行转印时，在基体的形成图案的面上配置多个滴状体。该滴状体配置方法包括：将上述基体的形成图案的面划分为比一个上述滴状体所占的面积小的多个第1区域，求出每个上述第1区域需要的上述滴状体的量的工序；对各第1区域中的上述滴状体的量进行合计，求出上述基体的形成图案的面的整个区域中需要的上述滴状体的量的总量的工序；将上述滴状体的量的总量除以上述滴状体的量，求出在上述基体的形成图案的面上配置的上述滴状体的总数的工序；根据上述模板的接触方式，求出上述基体的形成图案的面上的暂定的上述滴状体的配置的工序；将各第1区域分配至最接近的上述滴状体，将被分配至每个上述滴状体的上述第1区域的集体作为第2区域，通过上述第2区域将上述基体的形成图案的面重新划分的划分工序；以及对每个上述第2区域，将一个上述滴状体的量除以对于属于上述第2区域内的上述第1区域分别求出的需要的上述滴状体的量的总计来求出评价值的评价值计算工序。另外，在该滴状体配置方法中，当上述基体的形成图案的面上的上述评价值的分布处于作为目标的范围内时，确定全部上述滴状体的位置，当上述基体的形成图案的面上的上述评价值的分布不处于作为目标的范围内时，重复进行变更至少任一个上述滴状体的位置的工序、上述划分工序及上述评价值计算工序，直到上述评价值的分布纳入作为目标的范围内为止。

根据上述的结构，能够提高对被转印体的图案的转印性。

附图说明

图1是用于例示第1实施方式涉及的滴状体配置方法的流程图。

图2是用于例示求出滴状体的量的总量的步骤的框图。

图3A及图3B是用于例示在模板上形成的图案的疏密分布的计算的模式图。

图4是用于例示滴状体的量的输入值与滴状体的供给量的关系的模式曲线图。

图5是用于例示模板的接触方式为点接触时的初始配置的模式图。

图6A至图6E是用于例示模板的接触方式为点接触时的滴状体的初始配置的形态的模式图。

图7是用于例示模板的接触方式为线接触时的初始配置的模式图。

图8A至图8D是用于例示模板的接触方式为线接触时的滴状体的初始配置的形态的模式图。

图9是用于例示模板的接触方式为面接触时的初始配置的模式图。

图10A及图10B是用于例示模板的接触方式为面接触时的滴状体的初始配置的形态的模式图。

图11是用于例示通过第2区域对形成图案的面进行划分的步骤的模式图。

图12是用于例示滴状体的配置更新的步骤的流程图。

图13是用于例示滴状体的配置更新的步骤的概念图。

图14A至图14C是用于例示图案形成的模式工序剖视图。

图15A至图15C是用于例示图案形成的模式工序剖视图。

图16是用于例示第2实施方式涉及的滴状体配置装置的模式图。

图17是用于例示图案形成部的模式图。

图18是用于例示第4实施方式涉及的模板的图案的设计方法的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行例示。此外，各附图中，对同样的结构要素标注同一符号并适当省略详细的说明。

[第1实施方式]