[发明专利]滴状体配置方法及装置、图案形成方法、模板图案的设计方法

权利要求书

1.一种滴状体配置方法，在对在模板上形成的图案进行转印时，在基体的形成图案的面上配置多个滴状体，该滴状体配置方法包括：

将上述基体的形成图案的面划分为比一个上述滴状体所占的面积小的多个第1区域，求出每个上述第1区域需要的上述滴状体的量的工序；

对各第1区域中的上述滴状体的量进行合计，求出上述基体的形成图案的面的整个区域中需要的上述滴状体的量的总量的工序；

将上述滴状体的量的总量除以上述滴状体的量，求出在上述基体的形成图案的面上配置的上述滴状体的总数的工序；

根据上述模板的接触方式，求出上述基体的形成图案的面上的暂定的上述滴状体的配置的工序；

将各第1区域分配至最接近的上述滴状体，将被分配至每个上述滴状体的上述第1区域的集体作为第2区域，通过上述第2区域将上述基体的形成图案的面重新划分的划分工序；以及

对每个上述第2区域，将一个上述滴状体的量除以对于属于上述第2区域内的上述第1区域分别求出的需要的上述滴状体的量的总计来求出评价值的评价值计算工序，

当上述基体的形成图案的面上的上述评价值的分布处于作为目标的范围内时，确定全部上述滴状体的位置，

当上述基体的形成图案的面上的上述评价值的分布不处于作为目标的范围内时，重复进行变更至少任一个上述滴状体的位置的工序、上述划分工序及上述评价值计算工序，直到上述评价值的分布纳入作为目标的范围内为止。

2.如权利要求1所述的滴状体配置方法，

在根据上述模板的接触方式来求出上述基体的形成图案的面上的暂定的上述滴状体的配置的工序中，

当上述模板的接触方式为点接触时，

在将接触点作为中心并等间隔地设置的多个同心圆状的层上，等间隔地配置上述多个滴状体，

上述多个滴状体彼此的中心间距离与上述同心圆状的层的间隔相等，

使从上述接触点起穿过各滴状体中心并朝向上述基体的形成图案的面的外方的线段各自不重叠。

3.如权利要求1所述的滴状体配置方法，

在根据上述模板的接触方式来求出上述基体的形成图案的面上的暂定的上述滴状体的配置的工序中，

当上述模板的接触方式为线接触时，

在将接触线作为中心并与上述接触线平行且等间隔地设置的多个线状的层上，等间隔地配置上述多个滴状体，

上述多个滴状体彼此的中心间距离与上述线状的层的间隔相等，

使与上述线状的层垂直并且从各滴状体的中心起朝向上述基体的形成图案的面的外方的线段各自不重叠。

4.如权利要求1所述的滴状体配置方法，

在根据上述模板的接触方式来求出上述基体的形成图案的面上的暂定的上述滴状体的配置的工序中，

当上述模板的接触方式为面接触时，

在将接触面作为中心并等间隔地设置的多个与上述接触面的轮廓相似的层上，等间隔地配置上述多个滴状体，

上述多个滴状体彼此的中心间距离和与上述接触面的轮廓相似的层的间隔相等，

使从上述接触面的矩心起穿过各滴状体中心并朝向上述基体的形成图案的面的外方的线段各自不重叠。

5.如权利要求1所述的滴状体配置方法，

在变更至少任一个上述滴状体的位置的工序中，

选择与成为变更位置的对象的滴状体最接近的至少一个其他滴状体，

将成为变更上述位置的对象的上述滴状体具有的上述评价值和上述所选择的至少一个其他滴状体具有的上述评价值换算成权重，求出基于换算出的各个上述权重的重心，

将所选择出的上述至少一个其他滴状体的位置固定，求出将上述重心作为矩心时的成为变更上述位置的对象的上述滴状体的位置，

朝向所求出的成为变更上述位置的对象的上述滴状体的上述位置，移动成为变更上述位置的对象的上述滴状体。