[发明专利]样本制备装置和样本制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种样本制备装置和样本制备方法，其用于制备用于观察从被电子束照射的样本发射的背向散射电子的衍射图案的样本。

背景技术

传统上已知利用电子束扫描和照射样本并且利用扫描电子显微镜检测从样本背向散射的电子以测量电子背向散射图案（EBSP）的方法。通过该方法能够获得关于样本的晶向的信息。

已知另一种方法，其中，利用电子束照射由聚焦离子束形成的切面并且检测由此生成的背向散射电子以形成且切面的EBSP（参考JP-A-2011-159483）。

在现有技术中，如果观察对象掩埋在样本中则需要利用聚焦离子束处理暴露想要的观察对象。现有技术存在下述问题：当处理样本具有在观察对象周围阻挡背向散射电子的光学路径的形状时，即使暴露了观察对象，也难以获得准确的衍射图案。

发明内容

在这样的情况下，本发明的目的在于提供一种用于形成准确的EBSP的样本制备装置和样本制备方法。

鉴于上述，本发明的示例性方面提供了下述方面：

根据本发明的样本制备装置包括样本台，用于支撑样本；聚焦离子束镜筒，用于将聚焦离子束施加到样本并且处理样本；以及照射区域设置单元，用于设置聚焦离子束照射区域，该聚焦离子束照射区域包括第一照射区域和第二照射区域，第一照射区域用于形成将被电子束照射以检测背向散射电子的观察区段（7c），第二照射区域用于倾斜表面，该倾斜表面连接到观察区段和样本的表面并且相对于观察区段的法线方向倾斜67.5°以上且小于90°的角度。

利用该结构，能够制备具有没有阻挡背向散射电子所通过的直到检测器的光学路径上的背向散射电子的形状，所述背向散射电子是由于将电子束施加到观察区段而生成的。

利用根据本发明的样本观察装置，能够准确地形成样本中的想要的观察对象的EBSP。

附图说明

图1是根据本发明的实施方式的样本制备装置的构造图；

图2A和图2B是根据本发明的实施方式的样本制备方法的说明图；

图3是根据本发明的实施方式的样本制备方法的说明图；

图4A至图4C是根据本发明的实施方式的样本制备方法的说明图；

图5是根据本发明的实施方式的样本制备方法的说明图；以及

图6A和图6B是根据本发明的实施方式的另一样本制备方法的说明图。

具体实施方式

将在下面描述根据本发明的样本制备装置和样本制备方法的实施方式。

描述样本制备装置。如图1中所示，样本制备装置包括电子束（EB）镜筒1、聚焦离子束（FIB）镜筒2和样本室3。EB镜筒1将电子束8施加到设置在样本室3中的样本7并且FIB镜筒2将离子束9施加到样本7。EB镜筒1和FIB镜筒2被布置为它们的束轴在样本7上以直角交叉。

样本制备装置进一步包括二次电子检测器4。二次电子检测器4检测从被电子束8或离子束9照射的样本发射的二次电子。样本制备装置还包括背向散射电子检测器15。背向散射电子检测器15检测从被电子束8照射的样本7发射的背向散射电子。

在样本制备装置中，EB镜筒1的EB束轴方向D1与FIB镜筒2的FIB束轴方向D2以直角交叉。这里，在从样本7发射背向散射电子的方向当中，与EB束轴方向D1和FIB束轴方向D2以直角交叉的方向被称为背向散射电子方向D3。背向散射电子检测器15被布置在能够检测到背向散射电子发射方向D3上发射的背向散射电子的位置处。

样本制备装置进一步包括支撑样本7的样本台6。电子束8入射到样本7的入射角能够通过倾斜样本台6来改变。

样本制备装置进一步包括EB控制单元12、FIB控制单元13、图像形成单元14和显示单元17。EB控制单元12将照射信号发送到EB镜筒1以使得EB镜筒1施加电子束8。FIB控制单元13将照射信号发送到FIB镜筒2以使得FIB镜筒2施加离子束9。

图像形成单元14基于使得EB控制单元12扫描电子束8的信号和由二次电子检测器4检测到的二次电子信号形成对应于扫描电子显微镜（SEM）图像的数据。显示单元17显示SEM图像。图像形成单元14基于使得FIB控制单元13扫描离子束9的信号和由二次电子检测器4检测到的二次电子信号形成对应于扫描离子显微镜（SIM）的数据。显示单元17显示SIM图像。另外，图像形成单元14基于由背向散射电子检测器15检测到的检出信号形成对应于EBSP的数据。显示单元17显示该EBSP。