[发明专利]电力导入装置及其相关等离子体系统

说明书

技术领域

本发明提供一种电力导入设计，尤其指一种应用于等离子体源，且具较佳安全性的电力导入设计。

背景技术

传统的真空等离子体系统具有多种不同的配置方式，其中一种是将电力导入部设置在一般的大气环境下，并选择性地于电力导入部的表面设置一绝缘件，同时远离所有具地极电性的对象，由此避免高电位对象与电力导入部发生异常放电的情况。此类型的配置方式会限制真空等离子体系统的电极与基板间的关系及其系统组成，导致单一电极仅能形成一侧等离子体来制备一侧基板的工艺限制。此外，另一种传统的配置方式是将电力导入部贯穿一腔体以进入腔体的真空环境内。电力导入部的外表面包覆一绝缘件，再以电性为地极的金属件予以包覆。此设计的缺点在于绝缘件断面内部易因过大的集中电磁场产生微电弧，进而导致绝缘件毁损而失效。因此，如何设计出一种绝缘质量佳，且可同时执行多层基板镀膜的等离子体系统，即为相关产业的重点发展目标。

发明内容

本发明提供一种应用于等离子体源，且具有较佳安全性的电力导入设计，以解决上述的问题。

本发明揭露一种电力导入装置，其包含有一腔体、一套管结构以及一电力导入件。该腔体的内部设置有一电极，且该腔体的内部具有一第一压力。该套管结构自该腔体的外部延伸设置入该腔体的内部，该套管结构的内部具有一第二压力。该电力导入件悬空设置于该套管结构的内部，并连接于该腔体内的该电极。该电力导入装置利用该第一压力与该第二压力的压力差提供绝缘功能。

其中，该第一压力实质上大于或等于十倍的第二压力，或者该第二压力实质上大于或等于十倍的第一压力，且该腔体与该套管结构的内部的介质为空气。

该电力导入装置另包含有一绝缘桥接件以及一绝缘披覆件。该绝缘桥接件设置于该套管结构与该电极之间，且该绝缘披覆件设置于该电力导入件的表面。

其中，该电力导入装置应用于一极高频功率产生器。

本发明还揭露一种等离子体系统，其包含有至少一载台、一电极以及至少一电力导入装置。各载台用来承载一相应基板。该电力导入装置连接于该电极，用来提供电力予该电极以进行该基板的镀膜。该电力导入装置包含有一腔体、一套管结构以及一电力导入件。该腔体的内部设置有一电极，且该腔体的内部具有一第一压力。该套管结构自该腔体的外部延伸设置入该腔体的内部，该套管结构的内部具有一第二压力。该电力导入件悬空设置于该套管结构的内部，并连接于该腔体内的该电极。该电力导入装置利用该第一压力与该第二压力的压力差提供绝缘功能。

本发明使用高压力差作为隔绝电性连接的手段，其具有结构简单、成本低廉且绝缘效果极佳的优点。值得一提的是，本发明的腔体与套管结构的压力差值较佳地等于或大于十倍以上，且不限定其相对大小关系，可有效地符合高功率电力的需求。

附图说明

图1为根据本发明一实施例的等离子体系统的示意图。

图2为根据本发明一实施例的电力导入装置的部分示意图。

【主要元件符号说明】

10    等离子体系统        12    载台

14    电极                16    电力导入装置

18    基板                20    腔体

22    套管结构            24    电力导入件

26    绝缘桥接件          28    绝缘披覆件

P1    第一压力            P2    第二压力

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

请参阅图1，图1为根据本发明一实施例的一等离子体系统10的示意图。等离子体系统10包含有至少一载台12、一电极14以及至少一电力导入装置16。载台12用来承载一相应基板18以进行镀膜等工艺。电极14设置于载台12旁。电力导入装置16连接于电极14，用来供应电力至电极14以启动工艺。如图1所示，本发明的等离子体系统10可利用一组或一组以上的电力导入装置16，供给电力给一组或一组以上的电极14，而多个电力导入装置16可分别设置在电极14周边相互对称或彼此不对称的位置。