[发明专利]电力导入装置及其相关等离子体系统

权利要求书

1.一种电力导入装置，其特征在于，其包含有：

一腔体，该腔体的内部设置有一电极，且该腔体的内部具有一第一压力；

一套管结构，该套管结构自该腔体的外部延伸设置入该腔体的内部，该套管结构的内部具有一第二压力；以及

一电力导入件，悬空设置于该套管结构的内部，并连接于该腔体内的该电极；

其中该电力导入装置利用该第一压力与该第二压力的压力差提供绝缘功能。

2.如权利要求1所述的电力导入装置，其中该第一压力实质上大于或等于十倍的第二压力。

3.如权利要求1所述的电力导入装置，其中该第二压力实质上大于或等于十倍的第一压力。

4.如权利要求1所述的电力导入装置，其中该腔体与该套管结构的内部的介质为空气。

5.如权利要求1所述的电力导入装置，其另包含有：

一绝缘桥接件，设置于该套管结构与该电极之间。

6.如权利要求1所述的电力导入装置，其另包含有：

一绝缘披覆件，设置于该电力导入件的表面。

7.如权利要求1所述的电力导入装置，其中该电力导入装置应用于一极高频功率产生器。

8.一种等离子体系统，其特征在于，其包含有：

至少一载台，各载台用来承载一相应基板；

一电极，设置于该载台旁；以及

至少一电力导入装置，连接于该电极，用来提供电力予该电极以进行该基板的镀膜，该电力导入装置包含有：

一腔体，该电极设置于该腔体的内部，且该腔体的内部具有一第一压力：

一套管结构，该套管结构自该腔体的外部延伸设置入该腔体的内部，该套管结构的内部具有一第二压力；以及

一电力导入件，悬空设置于该套管结构的内部，并连接于该腔体内的该电极；

其中该电力导入装置利用该第一压力与该第二压力的压力差提供绝缘功能。

9.如权利要求8所述的等离子体系统，其中该第一压力实质上大于或等于十倍的第二压力。

10.如权利要求8所述的等离子体系统，其中该第二压力实质上大于或等于十倍的第一压力。

11.如权利要求8所述的等离子体系统，其中该腔体与该套管结构的内部的介质为空气。

12.如权利要求8所述的等离子体系统，其中该电力导入装置另包含有：

一绝缘桥接件，设置于该套管结构与该电极之间。

13.如权利要求8所述的等离子体系统，其中该电力导入装置另包含有：

一绝缘披覆件，设置于该电力导入件的表面。

14.如权利要求8所述的等离子体系统，其中该电力导入装置应用于一极高频功率产生器。