[发明专利]部件安装装置及方法

权利要求书

1.一种部件安装装置，该部件安装装置使安装头在X轴方向及Y轴方向上移动，并利用安装头向基板上安装部件，所述X轴方向及Y轴方向是沿着载置在基板工作台上的基板的表面且相互正交的方向，所述部件安装装置具备：

X轴梁，其将安装头支承为能够沿着X轴方向移动；

X轴梁支承体，其配置在X轴梁的下方侧，以使X轴梁能够沿着Y轴方向移动的方式而对X轴梁的两端进行支承；

Y轴驱动部，其对X轴梁的中央上部赋予Y轴方向的驱动力，从而使X轴梁沿着Y轴方向移动；

Y轴驱动部支承体，其在X轴梁的上方侧支承Y轴驱动部，并且与X轴梁支承体分体形成，且具有Y轴方向比X轴方向高的刚性；以及

基台，其支承基板工作台，并且支承X轴梁支承体及Y轴驱动部支承体。

2.如权利要求1所述的部件安装装置，其中，

X轴梁支承体以使X轴梁能够沿着Y轴方向移动的方式而从下方侧或者侧方侧对X轴梁的两端进行支承。

3.如权利要求2所述的部件安装装置，其中，

Y轴驱动部支承体由单体壳结构的框架构成，所述单体壳结构的框架一体形成有顶板壁和沿着X轴方向对置的一对侧壁，

在顶板壁上固定有Y轴驱动部，一对侧壁各自的下部被固定在基台上。

4.如权利要求3所述的部件安装装置，其中，

单体壳结构的框架向Y轴方向开口，向安装头供给部件的部件供给部配置在基台的Y轴方向的一端或者两端。

5.如权利要求1～4中任一项所述的部件安装装置，其中，

Y轴驱动部采用线性马达对X轴梁的中央上部以非接触的方式赋予Y轴方向的驱动力。

6.如权利要求1～4中任一项所述的部件安装装置，其中，

Y轴驱动部具备：

沿着Y轴方向延伸的滚珠丝杠；

与滚珠丝杠螺合的滚珠螺母；

驱动滚珠丝杠旋转的驱动马达；以及

使滚珠螺母能够沿着X轴方向滑动移动且使滚珠螺母与X轴梁的中央上部卡合的滑动机构，

其中，通过滑动机构来抑制从X轴梁向Y轴驱动部支承体的X轴方向的振动传递。

7.如权利要求1～4中任一项所述的部件安装装置，其中，

X轴梁支承体经由沿着Y轴方向延伸的直动引导机构，以使X轴梁能够沿着Y轴方向移动的方式而从下方侧或者侧方侧对X轴梁的两端进行支承。

8.一种部件安装方法，该方法使安装头在X轴方向及Y轴方向上移动，并利用安装头向基板上安装部件，所述X轴方向及Y轴方向是沿着载置在基板工作台上的基板的表面且相互正交的方向，其中，

通过配置在X轴梁下方侧的X轴梁支承体对X轴梁的两端进行支承，同时通过Y轴驱动部对X轴梁的中央上部赋予Y轴方向的驱动力，使X轴梁沿着Y轴方向移动而进行安装头向X轴方向及Y轴方向的移动，从而利用安装头对载置在基板工作台上的基板进行部件安装，所述X轴梁将安装头支承为能够沿着X轴方向移动，所述Y轴驱动部在X轴梁的上方侧被支承在与X轴梁支承体分体形成的Y轴驱动部支承体上，所述基板工作台被支承在对X轴梁支承体及Y轴驱动部支承体进行支承的基台上。