[发明专利]部件安装装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及采用支承在X轴梁上的安装头，对基板上的部件进行安装的部件安装装置及方法。

背景技术

迄今，作为这种部件安装装置，已知各种各样的结构的装置。例如，在专利文献1的部件安装装置中，采用通过顶板框架对安装头及X轴梁进行支承那样的结构。具体而言，顶板框架经由沿着Y轴方向延伸的直动引导机构，对将安装头支承为能够沿着X轴方向移动的X轴梁的两端上部进行支承，而使其能够沿着Y轴方向移动。在该顶板框架设有使X轴梁沿着Y轴方向移动的Y轴驱动部。通过Y轴驱动部使X轴梁沿着Y轴方向移动，通过X轴梁使安装头沿着X轴方向移动，由此进行向X轴方向及Y轴方向的安装头的移动。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】：日本特开2011-54605号公报

在专利文献1的部件安装装置中，采用的是支承安装头的X轴梁通过位于X轴梁的上方的顶板框架来支承的结构。因此，伴随着安装头的移动及X轴梁的移动的激振力向顶板框架传递。另外，顶板框架位于从部件安装装置的基台(基体)偏离的位置，故由激振力所引起的振动量容易变大。因而，难以以高精度来进行安装头的移动控制，将安装头的移动速度高速化也变得困难。

在为了抑制顶板框架的振动而提高顶板框架的刚性的情况下，顶板框架或支承其的构件等大型化，存在导致部件安装装置的大型化或各结构部的配置的复杂化的情况。

发明内容

因而，本发明的目的在于，在解决上述课题时，提供一种能够借助简单化的配置结构而以高精度来实现安装头的移动控制的部件安装装置及方法。

为了实现上述目的，本发明如以下构成。

根据本发明的第一方式，提供一种部件安装装置，该部件安装装置使安装头在X轴方向及Y轴方向上移动，并利用安装头向基板上安装部件，所述X轴方向及Y轴方向是沿着载置在基板工作台上的基板的表面且相互正交的方向，所述部件安装装置具备：

X轴梁，其将安装头支承为能够沿着X轴方向移动；

X轴梁支承体，其配置在X轴梁的下方侧，以使X轴梁能够沿着Y轴方向移动的方式而对X轴梁的两端进行支承；

Y轴驱动部，其对X轴梁的中央上部赋予Y轴方向的驱动力，从而使X轴梁沿着Y轴方向移动；

Y轴驱动部支承体，其在X轴梁的上方侧支承Y轴驱动部，并且与X轴梁支承体分体形成，且具有Y轴方向比X轴方向高的刚性；以及

基台，其支承基板工作台，并且支承X轴梁支承体及Y轴驱动部支承体。

根据本发明的第二方式，在第一方式的基础上提供一种部件安装装置，其中，X轴梁支承体以使X轴梁能够沿着Y轴方向移动的方式而从下方侧或者侧方侧对X轴梁的两端进行支承。

根据本发明的第三方式，在第一或第二方式的基础上提供一种部件安装装置，其中，Y轴驱动部支承体由单体壳结构的框架构成，所述单体壳结构的框架一体形成有顶板壁和沿着X轴方向对置的一对侧壁，在顶板壁上固定有Y轴驱动部，一对侧壁各自的下部被固定在基台上。

根据本发明的第四方式，在第三方式的基础上提供一种部件安装装置，其中，单体壳结构的框架向Y轴方向开口，向安装头供给部件的部件供给部配置在基台的Y轴方向的一端或者两端。

根据本发明的第五方式，在第一至第四方式的任一方式的基础上提供一种部件安装装置，其中，Y轴驱动部采用线性马达对X轴梁的中央上部以非接触的方式赋予Y轴方向的驱动力。

根据本发明的第六方式，在第一至第五方式的任一方式的基础上提供一种部件安装装置，其中，Y轴驱动部具备：沿着Y轴方向延伸的滚珠丝杠；与滚珠丝杠螺合的滚珠螺母；驱动滚珠丝杠旋转的驱动马达；以及使滚珠螺母能够沿着X轴方向滑动移动且使滚珠螺母与X轴梁的中央上部卡合的滑动机构，其中，通过滑动机构来抑制从X轴梁向Y轴驱动部支承体的X轴方向的振动传递。

根据本发明的第七方式，在第一至第六方式的任一方式的基础上提供一种部件安装装置，其中，X轴梁支承体经由沿着Y轴方向延伸的直动引导机构，以使X轴梁能够沿着Y轴方向移动的方式而从下方侧或者侧方侧对X轴梁的两端进行支承。