[发明专利]图案修正方法及图案修正装置

说明书

技术领域

本发明涉及图案修正方法及图案修正装置，尤其涉及对形成于基板上的图案缺陷部进行修正的图案修正方法及图案修正装置。

背景技术

作为平板显示器的代表例，已知有液晶显示器、等离子体显示器、EL显示器等。在这些显示器中，画面的大型化、高精细化获得了很大的进步，使像素数量处于增大的倾向。因此，在制造过程中，像素产生缺陷的概率升高，为了提高成品率而要求修正像素中所产生的缺陷的技术。

例如，作为修正液晶滤色片的着色层(像素)的局部脱色的白色缺陷的方法，存在一种使涂布针的前端部附着修正液(修正墨水)之后、使该涂布针的前端与白色缺陷接触以涂布修正液的方法(例如参照专利文献1)。

另外，存在一种朝在着色层产生的异物缺陷和白色缺陷照射激光来形成矩形的白色缺陷、并使用微型分配器朝矩形的白色缺陷注入修正液的方法(例如参照专利文献2)。

此外，在朝矩形的白色缺陷涂布修正液的情况下，有时会出现未朝白色缺陷的角部填充修正液，或修正液的中央部隆起升高，修正液被引向白色缺陷的边缘，使修正液的中央部凹陷等情形，从而容易使修正液的厚度不均匀。作为使涂布于白色缺陷的修正液的厚度均匀的方法，存在一种从上方朝涂布于白色缺陷的修正液喷射气体的方法(例如参照专利文献3)。另外，还存在一种朝涂布于白色缺陷的修正液照射卤素光来进行加热、以降低修正液的粘度来使修正液均匀的方法(例如参照专利文献4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平9－236933号公报

专利文献2：日本专利特开2006－145786号公报

专利文献3：日本专利特开2008－3287号公报

专利文献4：日本专利特开2010－97068号公报

然而，最近，液晶滤色片的一个像素的尺寸变大，即便在仅在着色层的一部分存在白色缺陷的情况下，为防止颜色不均而在将着色层整体转换为白色缺陷之后涂布修正液。在这样将修正液涂布于较大的白色缺陷的情况下，在着色层内一边改变涂布位置，一边分多次涂布修正液。因此，修正液的厚度不均匀而容易产生颜色不均，另外，与现有技术相比，修正液的涂布量也会增多。

在该状态下，在朝涂布于白色缺陷的修正液喷射气体来使修正液的厚度均匀的情况下，可想象出若气体的压力较高，则修正液被按压至白色缺陷的周围而污染周围。相反地，若气体的压力较低，修正液难以流动而不能使厚度均匀。

另外，在专利文献3、4中，需要另行设置气体喷射装置和卤素加热器，从而存在导致高成本这样的问题。

发明内容

因此，本发明的主要目的在于提供一种能以不污染缺陷部的周围的方式使涂布于缺陷部的修正液的厚度变得均匀且成本低的图案修正方法及图案修正装置。

本发明的图案修正方法是对形成于基板上的图案的缺陷部进行修正的图案修正方法，其特征是，包括：第一步骤，在该第一步骤中，朝缺陷部涂布修正液；以及第二步骤，在该第二步骤中，朝涂布于缺陷部的修正液照射激光来进行加热，以降低修正液的粘度来使修正液的厚度均匀。

较为理想的是，根据修正条件以预先存储的条件进行激光的照射，预先存储的条件包括激光的焦点尺寸、照射次数、照射周期及照射功率。

另外，较为理想的是，预先存储的条件还包括激光的焦点位置距基准位置的偏移量。

另外，较为理想的是，还包括第三步骤，在该第三步骤中，对第二步骤中厚度被均匀化的修正液进行烧成或固化处理。

另外，较为理想的是，基板是透明基板，图案是包括多个着色层的滤色片，缺陷部是着色层的白色缺陷。

另外，本发明的图案修正装置是对形成于基板上的图案的缺陷部进行修正的图案修正装置，其特征是，包括：涂布元件，该涂布元件朝缺陷部涂布修正液；以及激光照射元件，该激光照射元件朝涂布于缺陷部的修正液照射激光来进行加热，以降低修正液的粘度来使修正液的厚度均匀。

较为理想的是，根据修正条件以预先存储的条件进行激光的照射，预先存储的条件包括激光的焦点尺寸、照射次数、照射周期及照射功率。

另外，较为理想的是，预先存储的条件还包括激光的焦点位置距基准位置的偏移量。

另外，较为理想的是，激光照射元件在利用涂布元件朝缺陷部涂布修正液之前，通过激光消融将缺陷部整形成期望的形状。