[发明专利]图案修正方法及图案修正装置

权利要求书

1.一种图案修正方法，是对形成于基板上的图案的缺陷部进行修正的图案修正方法，其特征在于，包括：

第一步骤，在该第一步骤中，朝所述缺陷部涂布修正液；以及

第二步骤，在该第二步骤中，朝涂布于所述缺陷部的所述修正液照射激光来进行加热，以降低所述修正液的粘度来使所述修正液的厚度均匀。

2.如权利要求1所述的图案修正方法，其特征在于，

根据修正条件以预先存储的条件进行所述激光的照射，

所述预先存储的条件包括激光的焦点尺寸、照射次数、照射周期及照射功率。

3.如权利要求2所述的图案修正方法，其特征在于，

所述预先存储的条件还包括所述激光的焦点位置距基准位置的偏移量。

4.如权利要求1所述的图案修正方法，其特征在于，

还包括第三步骤，在该第三步骤中，对所述第二步骤中厚度被均匀化的所述修正液进行烧成或固化处理。

5.如权利要求1至4中任一项所述的图案修正方法，其特征在于，

所述基板是透明基板，

所述图案是包括多个着色层的滤色片，

所述缺陷部是所述着色层的白色缺陷。

6.一种图案修正装置，是对形成于基板上的图案的缺陷部进行修正的图案修正装置，其特征在于，包括：

涂布元件，该涂布元件朝所述缺陷部涂布修正液；以及

激光照射元件，该激光照射元件朝涂布于所述缺陷部的所述修正液照射激光来进行加热，以降低所述修正液的粘度来使所述修正液的厚度均匀。

7.如权利要求6所述的图案修正装置，其特征在于，

根据修正条件以预先存储的条件进行所述激光的照射，

所述预先存储的条件包括激光的焦点尺寸、照射次数、照射周期及照射功率。

8.如权利要求7所述的图案修正装置，其特征在于，

所述预先存储的条件还包括激光的焦点位置距基准位置的偏移量。

9.如权利要求6所述的图案修正装置，其特征在于，

所述激光照射元件在利用所述涂布元件朝所述缺陷部涂布所述修正液之前，通过激光消融将所述缺陷部整形成期望的形状。

10.如权利要求6所述的图案修正装置，其特征在于，还包括：

固化元件，该固化元件朝厚度因所述激光的照射而变得均匀的所述修正液照射紫外线来使所述修正液固化；

卤素光照射元件，该卤素光照射元件在朝涂布于所述缺陷部的所述修正液照射卤素光来进行加热以降低所述修正液的粘度来使所述修正液的厚度均匀之后，对所述修正液进行烧成；以及

控制元件，在所述修正液为紫外线固化型的情况下，该控制元件在使用所述激光照射元件及所述固化元件来使涂布于所述缺陷部的所述修正液的厚度均匀之后，使所述修正液固化，在所述修正液为加热固化型的情况下，所述控制元件在使用所述卤素光照射元件来使涂布于所述缺陷部的所述修正液的厚度均匀之后，对所述修正液进行烧成。

11.如权利要求6至10中任一项所述的图案修正装置，其特征在于，

所述基板是透明基板，

所述图案是包括多个着色层的滤色片，

所述缺陷部是所述着色层的白色缺陷。