[发明专利]一种精密定位一维平台

说明书

技术领域

本发明涉及一种平台，尤其涉及一种精密定位一维平台。

背景技术

定位系统在各种精密机械设备中起着关键性的作用。随着微电子制造、各种超精密加工等精密工程的不断发展，大行程纳米定位平台在现代科学技术中起到越来越重要作用，特别是近几年一直是精密工程领域的研究热点之一。特别是在光刻，键合等微电子领域中，设备需要做平面往复定位运动，这个运动是在高速频繁启停状态下进行的平台精确定位运动。在满足预定精度的条件下，还要尽可能的提高其速度和加速度，来缩短机械加工时间，减少操作时间，有效的提高生产率。一维定位平台是实现平面的往复精确定位的关键基础。

目前国内的长行程超精密的定位主要是通过滚珠丝杠与压电驱动器或者直线电机与压电驱动器等来完成。这些定位很难同时实现高加速度、高速、长行程和超精密定位。这对于现代化的微电子制造领域的应用具有一定的局限性。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种精密定位一维平台，该精密定位一维平台解决了现有技术无法同时实现高加速、高速和长行程的精密定位问题。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种精密定位一维平台，其特征在于：包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台，所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器，所述定位平台与所述压电驱动器连接。

优选地，所述电机为音圈电机。

优选地，所述压电驱动器为压电陶瓷驱动器。

优选地，还包括与所述运动机构上下连接的缓冲减振台，所述缓冲减振台包括上底座、与所述上底座连接的下底座。

优选地，所述缓冲减振台和所述定位平台设置于大理石底座上。

进一步的，所述上底座设置有滑块，所述上底座中部设置有缓冲减振挡块。

进一步的，所述下底座设置有与所述滑块相配合的导轨，所述下底座中部设置有缓冲装置和容纳所述缓冲减振挡块的安装孔。

进一步的，所述缓冲装置包括导杆、与所述导杆一端连接的导杆挡块、与所述导杆另一端连接的导杆锁、套设在所述导杆外部的弹性件。

更进一步的，所述弹性件为弹簧。

优选地，所述定位平台包括与所述压电驱动器连接的平台连接架、与所述平台连接架连接的定位板、设置于所述定位板下部的平台底座、设置于所述平台底座两侧的运动测量光栅尺。

本发明产生的有益效果是：本发明把音圈电机与压电驱动器通过连接架连接起来形成运动机构，将运动机构与定位平台紧固连接，且运动机构与缓冲减振台紧固连接，在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时，通过压电驱动器补偿音圈电机的误差，同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动，最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一种精密定位一维平台一个实施例的结构示意图；

图2为本发明一种精密定位一维平台一个实施例运动机构的放大结构示意图；

图3为本发明一种精密定位一维平台一个实施例减震台的放大结构示意图；

图4为本发明一种精密定位一维平台一个实施例上底座的放大结构示意图；

图5为本发明一种精密定位一维平台一个实施例下底座的放大结构示意图；

图6为本发明一种精密定位一维平台一个实施例定位平台的放大结构示意图；

图中：1运动机构；11音圈电机；12连接架；13压电驱动器；2定位平台；21平台连接架；22定位板；23第一运动测量光栅尺；24第二运动测量光栅尺；25平台底座；3缓冲减振台；31上底座；311滑块；312缓冲减振挡块；32下底座；321导轨；322安装孔；323导杆；324导杆挡块；325导杆锁；326弹簧；327弹簧挡片；4大理石底座。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。