[发明专利]一种精密定位一维平台

权利要求书

1.一种精密定位一维平台，其特征在于：包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台，所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器，所述定位平台与所述压电驱动器连接。

2.如权利要求1所述的精密定位一维平台，其特征在于：所述电机为音圈电机。

3.如权利要求1所述的精密定位一维平台，其特征在于：所述压电驱动器为压电陶瓷驱动器。

4.如权利要求1所述的精密定位一维平台，其特征在于：还包括与所述运动机构上下连接的缓冲减振台，所述缓冲减振台包括上底座、与所述上底座连接的下底座。

5.如权利要求4所述的精密定位一维平台，其特征在于：所述缓冲减振台和所述定位平台设置于大理石底座上。

6.如权利要求4所述的精密定位一维平台，其特征在于：所述上底座设置有滑块，所述上底座中部设置有缓冲减振挡块。

7.如权利要求6所述的精密定位一维平台，其特征在于：所述下底座设置有与所述滑块相配合的导轨，所述下底座中部设置有缓冲装置和容纳所述缓冲减振挡块的安装孔。

8.如权利要求7所述的精密定位一维平台，其特征在于：所述缓冲装置包括导杆、与所述导杆一端连接的导杆挡块、与所述导杆另一端连接的导杆锁、套设在所述导杆外部的弹性件。

9.如权利要求8所述的精密定位一维平台，其特征在于：所述弹性件为弹簧。

10.如权利要求1所述的精密定位一维平台，其特征在于：所述定位平台包括与所述压电驱动器连接的平台连接架、与所述平台连接架连接的定位板、设置于所述定位板下部的平台底座、设置于所述平台底座两侧的运动测量光栅尺。