[发明专利]固体拍摄装置及固体拍摄装置的制造方法

权利要求书

1.一种固体拍摄装置，其特征在于，具备：

受光部，其对入射光进行光电变换；

第1电荷保持膜，其形成于上述受光部的上述入射光入射的面侧，并保持电荷；以及

第2电荷保持膜，其氧含量比上述第1电荷保持膜高，形成于上述第1电荷保持膜的上述入射光入射的面侧，并保持电荷。

2.根据权利要求1所述的固体拍摄装置，其特征在于，具备：

第3电荷保持膜，其形成于上述第2电荷保持膜的上述入射光入射的面侧，并保持电荷。

3.根据权利要求1或2所述的固体拍摄装置，其特征在于，

上述第1电荷保持膜及上述第2电荷保持膜是包含同一金属元素的金属氧化膜。

4.根据权利要求1或2所述的固体拍摄装置，其特征在于，

上述第2电荷保持膜的膜厚比上述第1电荷保持膜的膜厚薄一个数量级以上。

5.一种固体拍摄装置的制造方法，其特征在于，包含：

在对入射光进行光电变换的受光部的入射光入射的面侧，形成保持电荷的第1电荷保持膜的步骤；和

在上述第1电荷保持膜的上述入射光入射的面侧，形成氧含量比上述第1电荷保持膜高并保持电荷的第2电荷保持膜的步骤。