[发明专利]一种利用气相沉积工艺制备纳米金的方法无效

专利信息
申请号: 201310064454.0 申请日: 2013-02-28
公开(公告)号: CN103128303A 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 宋西平;窦娜娜;王涵;张蓓 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: B22F9/12 分类号: B22F9/12;C23C14/34;C23C14/14;C23C14/58
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 皋吉甫
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 利用 沉积 工艺 制备 纳米 方法
【权利要求书】:

1.一种利用气相沉积工艺制备纳米金的方法,其特征在于:以纯金作为原料,以载玻片为基底,溅射一定时间,然后在一定温度和时间范围内进行退火,得到不同尺寸的纳米金颗粒。

2.根据权利要求1所述的的方法,其特征在于,溅射仪的靶材(原料)为纯度为99.99%的金。

3.根据权利要求1所述的的方法,其特征在于,所述载玻片为玻璃载玻片。

4.根据权利要求1所述的的方法,其特征在于,所述溅射时间为30s。

5.根据权利要求1所述的的方法,其特征在于,所述退火温度范围为400℃~600℃。

6.根据权利要求1所述的的方法,其特征在于,所述退火时间范围为30min~120min。

7.根据权利要求1~6中任意一项所述的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

1)将金靶安装在直流溅射仪的靶材座上,将洁净的基底放在直流溅射仪的镀膜室中,抽真空,然后充入少量氩气或其他惰性可电离气体进行一定时间地溅射,得到纳米金薄膜样品;

2)把上述所得到的样品,放入管式炉石英管中,使其位于管式炉的加热区;

3)打开氩气罐阀门与分压表,向石英管中通入氩气或其他惰性气体,调节气流流速至100cm3/min;通氩气10min以排尽石英管内空气,保持通气,管式炉开始加热;

4)加热到一定温度后,保温一定时间,然后炉冷却至室温,并停止通入氩气或其他惰性气体;

5)将退火后的样品取出;样品表面即生成了纳米金颗粒。

8. 根据权利要求7所述的的方法,其特征在于,所述溅射时氩气或其他惰性气体的压力为3-4Pa。

9.根据权利要求7所述的的方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:

1)将洁净的基底放在直流溅射仪中,抽真空,然后充入氩气至压力为3~4pa后,进行溅射,溅射时间为30s,得到纳米金薄膜样品;

2)把上述所得到的样品,放入管式炉石英管中,使其位于管式炉的加热区;

3)打开氩气罐阀门与分压表,向石英管中通入氩气,调节气流流速至100cm3/min;通氩气10min以排尽石英管内空气,保持通气,管式炉开始加热;

4)加热到400℃~600℃后,保温30min~120min,然后炉冷却至室温,并停止通入氩气; 

5)将退火后的样品取出,样品表面即生成了纳米金颗粒。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京科技大学,未经北京科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310064454.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top