[发明专利]一种电泳显示装置以及电泳显示装置的制备方法

权利要求书

1.一种电泳显示装置，包括相对设置的电泳基板、驱动基板以及位于所述电泳基板和所述驱动基板之间的多个微杯，其特征在于，所述微杯靠近所述电泳基板一侧的杯体厚度小于所述微杯靠近所述驱动基板一侧的杯体厚度，且所述微杯的杯面为远离所述微杯竖直中心轴线向杯体凹进的弧面。

2.根据权利要求1所述的电泳显示装置，其特征在于，所述杯体为由多个呈阵列排列的分隔墙形成，所述分隔墙的上表面与下表面平行，每一所述分隔墙的两个侧壁均为弧面。

3.根据权利要求2所述的电泳显示装置，其特征在于，所述弧面形状为球形、椭球形的一部分。

4.根据权利要求3所述的电泳显示装置，其特征在于，所述分隔墙的高度范围为1-10μm，所述分隔墙的两个侧壁的弧面半径范围为4-10μm。

5.根据权利要求4所述的电泳显示装置，其特征在于，所述分隔墙采用不透光材料制成，所述不透光材料的光学密度范围为1-5。

6.根据权利要求5所述的电泳显示装置，其特征在于，所述驱动基板中包括多个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括依次形成在衬底上的栅电极层、栅极绝缘层、有源层、欧姆接触层、源电极层、漏电极层、沟道保护层以及像素电极层，所述栅极绝缘层和所述沟道保护层采用不透光材料制成；所述驱动基板中还设置有交叉排列的数据线和扫描线，所述分隔墙设置在所述数据线和所述扫描线对应的区域。

7.一种电泳显示装置的制备方法，包括在驱动基板上形成微杯阵列的步骤，其特征在于，所述微杯阵列采用构图工艺或辊对辊方式压制形成，所述微杯靠近所述电泳基板一侧的杯体厚度小于所述微杯靠近所述驱动基板一侧的杯体厚度，且所述微杯的杯面为远离所述微杯竖直中心轴线向杯体凹进的弧面。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，采用构图工艺形成所述微杯阵列包括如下步骤：

步骤S1）：在所述驱动基板上依次设置微杯膜层以及光刻胶层；

步骤S2）：对所述光刻胶层进行曝光；

步骤S3）：对曝光后的所述光刻胶层进行显影；

步骤S4）：对所述微杯膜层进行各向同性刻蚀；

步骤S5）：剥离光刻胶，从而得到微杯阵列。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在步骤S5）之前还进一步包括：从所述驱动基板未设置微杯的一侧，对刻蚀后的微杯膜层进行背部曝光；

相应的，在步骤S5）中剥离光刻胶后，还进一步包括对背部曝光后的微杯膜层进行热固化。

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，采用辊对辊方式形成所述微杯阵列时，所述辊对辊装置中设置有与所述微杯大小和形状相同的凸出的辊齿。