[发明专利]激光离子源

权利要求书

1.一种激光离子源，其特征在于，具备：

真空容器，被真空排气，被输送并配置靶，上述靶通过激光的照射发生离子；

阀，设置在上述真空容器的侧面，向上述真空容器内输送靶时开放，上述输送时以外闭塞；

靶补给容器，通过上述阀安装于上述真空容器，将上述靶能移动地保持，与上述真空容器独立地真空排气；及

输送构件，在关闭了上述阀的状态下上述靶补给容器内被真空排气之后，在打开了上述阀的状态下将保持在上述靶补给容器内的上述靶输送到上述真空容器内。

2.根据权利要求1记载的激光离子源，其特征在于，

上述输送构件沿着导轨输送上述靶，上述导轨对在从上述靶补给容器到上述真空容器之间设置的上述靶的输送方向进行规定。

3.根据权利要求2记载的激光离子源，其特征在于，

上述导轨在上述阀的位置被分割，以便不妨碍上述阀的开关。

4.根据权利要求1记载的激光离子源，其特征在于，

上述靶补给容器具备保持上述靶的靶支架；

上述输送构件输送上述靶支架。

5.根据权利要求4记载的激光离子源，其特征在于，

上述靶支架包含磁性材料；

上述输送构件通过磁吸引上述靶支架，按压一端连接在上述靶支架上的棒状部件的另一端，从而输送上述靶。

6.根据权利要求4记载的激光离子源，其特征在于，

上述靶支架包含电介质；

上述输送构件通过静电吸引上述靶支架，按压一端连接在上述靶支架上的棒状部件的另一端，从而输送上述靶。

7.根据权利要求1记载的激光离子源，其特征在于，

上述真空容器具备靶移动构件，上述靶移动构件以改变上述激光对上述输送的靶的照射位置的方式使上述靶移动。

8.根据权利要求7记载的激光离子源，其特征在于，

上述靶移动构件包括固定构件，上述固定构件将上述靶固定成上述输送的靶的面相对于使上述离子发生的方向成直角。

9.根据权利要求1至8任一项记载的激光离子源，其特征在于，

上述输送构件在上述靶补给容器的压力变为上述真空容器的压力以下的情况下，在打开了上述阀的状态下将保持于上述靶补给容器的靶输送到上述真空容器。