[发明专利]制造有机电致发光装置的设备和方法

说明书

技术领域

本发明涉及减小处理时间和简化结构的制造有机电致发光装置的设备和方法。

背景技术

已经开发了多种平板显示器来减少作为阴极射线管的缺陷的重量和体积。平板显示器的示例包括液晶显示器、场反射显示器、等离子体显示面板、有机电致发光（EL）装置等。

具体地，与其它平板显示器相比，有机电致发光装置自主发光并且具有高响应速度、优异的发光效率、优异的亮度和高视角的优点。这些常规的有机电致发光装置包括有机膜或者金属膜，该有机膜或者金属膜包括按照团簇方式形成在基板上的红发光层、绿发光层和蓝发光层中的至少一个，其中多个沉积腔连接到一个传输腔，因而增加了基板的等待时间并且延长了处理时间。

另外，由于形成常规的有机膜和金属膜需要使用金属掩模，因此不利地，需要用于传送金属掩模的传送机器人并且还需要用于清洁和检验金属掩模的设备。

发明内容

因此，本发明致力于基本上减轻由于相关技术的限制和缺陷导致的一个或者更多个问题的制造有机电致发光装置的设备和方法。

本发明的一个目的在于提供一种减少处理时间并简化结构的制造有机电致发光装置的设备和方法。

本发明的其它优点、目的及特征一部分将在以下的说明书中进行阐述，并且一部分对于本领域的技术人员来说将在研读以下内容后变得明显，或者可以从本发明的实践中获知。本发明的这些目的和其它优点可以通过在本书面描述及其权利要求书及附图中具体指出的结构来实现和获得。

为了实现这些目的和其它优点，并且根据本发明的目的，如本文所具体实施和广泛描述的，提供一种制造有机电致发光装置的设备，该设备包括：第一基板处理单元，该第一基板处理单元用于使用第一托架作为掩模在连接到该第一托架的基板上沉积有机材料；第一托架处理单元，该第一托架处理单元布置在与第一基板处理单元不同的行上，该第一托架处理单元清洁并且检验从沉积有有机材料的基板分离的第一托架；第二基板处理单元，该第二基板处理单元与第一基板处理单元布置在一行上，该第二基板处理单元使用第二托架作为掩模在连接到该第二托架的沉积有有机材料的基板上沉积金属材料；第二托架处理单元，该第二托架处理单元布置在与第二基板处理单元不同的行上，第二托架处理单元清洁并且检验从沉积有金属材料的基板分离的第二托架；以及密封单元，该密封单元与第二基板处理单元布置在一行上，该密封单元密封沉积有金属材料的基板，其中，第一基板处理单元和第二基板处理单元均包括：移动控制单元，该移动控制单元用于在第一托架和第二托架连接到基板时，初次地移动第一托架和第二托架使得第一托架和第二托架与基板对齐，并且用于二次移动各个第一托架和第二托架以及基板，使得基板和这些托架在预定位置对齐。

基板可以沿着排列成一行的第一基板处理单元、第二基板处理单元和密封单元直线地移动，其中，第一托架沿着第一基板处理单元和第一托架处理单元循环，并且第二托架沿着第二基板处理单元和第二托架处理单元循环。

其中，第一基板处理单元和第二基板处理单元均可以包括：连接单元，该连接单元用于将各个第一托架和第二托架连接到基板；沉积单元，该沉积单元用于在连接到各个第一托架和第二托架的基板上形成薄膜；以及分离单元，该分离单元用于将各个第一托架和第二托架与设置有薄膜的基板分离。

该连接单元可以包括：移动控制单元；沿着移动控制单元移动的底板；以及形成在底板上的抬升销，该抬升销将各个第一托架和第二托架与基板进行固定，其中，沉积单元包括布置在连接到各个第一托架和第二托架的基板的下方的沉积源。

该设备可以还包括：预处理单元，该预处理单元在第一托架被连接到基板之前被加载，使得基板的下表面面向地面，该预处理单元去除基板的上表面上存在的杂质；以及反转单元，该反转单元被布置在预处理单元和第一基板处理单元的连接单元之间，该反转单元将基板反转使得基板的上表面面向地面。

第一托架处理单元和第二托架处理单元均可以包括：清洁单元，该清洁单元用于清洁从基板分离的各个第一托架和第二托架；检验单元，该检验单元用于检验经清洁的第一托架和第二托架；以及堆料机，该堆料机用于存储和传送经清洁的或者从基板分离的各个第一托架和第二托架。