[发明专利]制造有机电致发光装置的设备和方法

权利要求书

1.一种制造有机电致发光装置的设备，所述设备包括：

第一基板处理单元，所述第一基板处理单元用于使用第一托架作为掩模在连接到所述第一托架的基板上沉积有机材料；

第一托架处理单元，所述第一托架处理单元布置在与所述第一基板处理单元不同的行上，所述第一托架处理单元清洁并且检验从沉积有有机材料的所述基板分离的所述第一托架；

第二基板处理单元，所述第二基板处理单元与所述第一基板处理单元布置在一行上，所述第二基板处理单元使用第二托架作为掩模在连接到所述第二托架的沉积有有机材料的所述基板上沉积金属材料；

第二托架处理单元，所述第二托架处理单元布置在与所述第二基板处理单元不同的行上，所述第二托架处理单元清洁并且检验从沉积有金属材料的所述基板分离的所述第二托架；以及

密封单元，所述密封单元与所述第二基板处理单元布置在一行上，所述密封单元密封沉积有所述金属材料的基板，

其中，所述第一基板处理单元和所述第二基板处理单元均包括：

移动控制单元，所述移动控制单元用于在第一托架和第二托架连接到所述基板时，初次地移动所述第一托架和第二托架使得所述第一托架和第二托架与所述基板对齐，并且用于二次移动各个第一托架和第二托架以及所述基板，使得所述基板和这些托架在预定位置对齐。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述基板沿着排列成一行的所述第一基板处理单元、所述第二基板处理单元和所述密封单元直线地移动，

其中，所述第一托架沿着所述第一基板处理单元和所述第一托架处理单元循环，并且所述第二托架沿着所述第二基板处理单元和所述第二托架处理单元循环。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一基板处理单元和所述第二基板处理单元均包括：

连接单元，所述连接单元用于将各个第一托架和第二托架连接到所述基板；

沉积单元，所述沉积单元用于在连接到各个第一托架和第二托架的所述基板上形成薄膜；以及

分离单元，所述分离单元用于将各个第一托架和第二托架与设置有薄膜的基板分离。

4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述连接单元包括：

所述移动控制单元；

沿着所述移动控制单元移动的底板；以及

形成在所述底板上的抬升销，所述抬升销将各个第一托架和第二托架与所述基板进行固定，

其中，所述沉积单元包括布置在连接到各个第一托架和第二托架的所述基板的下方的沉积源。

5.根据权利要求3所述的设备，所述设备还包括：

预处理单元，所述预处理单元在所述第一托架被连接到所述基板之前被加载，使得所述基板的下表面面向地面，所述预处理单元去除所述基板的上表面上存在的杂质；以及

反转单元，所述反转单元布置在所述预处理单元和所述第一基板处理单元的连接单元之间，所述反转单元将所述基板反转使得所述基板的上表面面向地面。

6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一托架处理单元和所述第二托架处理单元均包括：

清洁单元，所述清洁单元用于清洁从所述基板分离的各个第一托架和第二托架；

检验单元，所述检验单元用于检验经清洁的第一托架和第二托架；以及

堆料机，所述堆料机用于存储和传送经清洁的或者从所述基板分离的各个第一托架和第二托架。