[发明专利]负压无尘型对位机构

权利要求书

1.一种负压无尘型对位机构，包含有：

一固定平台，其顶缘平面向上环设有一围体于固定平台周缘；

四XYθ装置，设置于固定平台四个象限角上，各所述XYθ装置受驱动装置带动；

一移动平台，共同设置于各象限角的各所述XYθ装置上，通过XYθ装置能够在X方向、Y方向以及θ方向移动；

一止漏体，设置于围体与移动平台之间，封闭所述固定平台与移动平台所形成的容置空间，且所述止漏体由能够弹性回复的材料所构成，当受力解除后会自行回复原先造型；

一真空泵，设置于围体外侧，该真空泵的抽气端接合于容置空间并对容置空间抽气使容置空间呈负压真空状态，且所述真空泵受一控制器所控制；

一压力侦测器，设置于围体外侧，该压力侦测器具有一感测端接于容置空间内用于感测容置空间内的压力上值及下值，并且将压力值转换成电信号传输到该控制器；

该控制器，用于操控所述XYθ装置驱动移动平台朝X方向、Y方向以及θ方向移动、提供设定压力值使真空泵对容置空间进行抽气以及判定压力侦测器测得的压力值是否达到标准，当压力到达设定上值则停止真空泵，若未达到设定下值则自动开启真空泵进行抽气。

2.如权利要求1所述的负压无尘型对位机构，其特征在于，所述围体与固定平台之间的间隙选用有机硅塑料或填补剂。

3.如权利要求1所述的负压无尘型对位机构，其特征在于，所述真空泵选用干式真空泵，使受真空泵抽气的容置空间中不含油、水气。