[发明专利]太阳能电池的制造方法、制造用掩模及制造系统

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，

该太阳能电池的制造方法包括：

检测工序，在该检测工序中，检测由离子注入图案的至少一部分构成的定位用图案，所述离子注入图案是在太阳能电池用基板的预定区域进行离子注入而成的；及

定位工序，在该定位工序中，在执行针对太阳能电池用基板的预定工艺时，基于检测出的所述定位用图案对执行该工艺的工艺部与该太阳能电池用基板进行相对定位。

2.如权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述离子注入图案包括与太阳能电池的接触电极对应的第1图案、及用作所述定位用图案的第2图案。

3.如权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述定位用图案是所述离子注入图案中成为非重复图案的部分。

4.如权利要求1至3中任一项所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述检测工序中，基于在所述太阳能电池用基板分布的掺杂物的浓度的差异来检测所述定位用图案。

5.如权利要求1至3中任一项所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述检测工序中，基于在所述太阳能电池用基板分布的掺杂物的种类的差异来检测所述定位用图案。

6.一种太阳能电池制造用掩模，所述太阳能电池制造用掩模是在针对太阳能电池用基板进行离子注入时使用的掩模，其特征在于，

所述掩模具备预定的掩模图案，

所述预定的掩模图案包括与太阳能电池单元的接触电极对应的第1掩模图案、及用于形成基板的定位用图案的第2掩模图案。

7.一种太阳能电池制造系统，其特征在于，

所述太阳能电池制造系统具备：

获取部，所述获取部用于获取由离子注入图案的至少一部分构成的定位用图案的信息，所述离子注入图案是在太阳能电池用基板的预定区域进行离子注入而成的；

定位部，在执行针对太阳能电池用基板的预定工艺时，所述定位部基于获取的所述定位用图案对执行该工艺的工艺部与该太阳能电池用基板进行相对定位；及

工艺部，所述工艺部用于针对所述太阳能电池用基板的预定区域执行预定工艺。

8.如权利要求7所述的太阳能电池制造系统，其特征在于，

所述工艺部以与所述离子注入图案的至少一部分重叠的方式形成电极。