[发明专利]流延方法及装置、流延模、薄膜制造方法及设备

权利要求书

1.一种流延方法，从流延模的吐出口吐出第1溶液与第2溶液来在支承体上形成流延膜，其中，该方法具备以下步骤：

使所述第1溶液与所述第2溶液在所述流延模的合流部合流，其中，所述第2溶液的粘度低于所述第1溶液，从最上游侧合流点到所述吐出口的距离在0mm以上5mm以下的范围内，所述最上游侧合流点为所述合流部的最上游侧的端部；及

将合流的所述第1溶液与所述第2溶液流延于行进的所述支承体上来形成流延膜。

2.根据权利要求1所述的流延方法，其中，所述第1溶液的粘度X与所述第2溶液的粘度Y满足X/Y≥10。

3.根据权利要求1或2所述的流延方法，其中，所述第1溶液的粘度最大为100Pa·s。

4.根据权利要求1或2所述的流延方法，其中，所述第2溶液的粘度最大为10Pa·s。

5.根据权利要求3所述的流延方法，其中，所述第2溶液的粘度最大为10Pa·s。

6.根据权利要求1或2所述的流延方法，其中，从所述吐出口到所述支承体的距离为3mm以下。

7.根据权利要求3所述的流延方法，其中，从所述吐出口到所述支承体的距离为3mm以下。

8.根据权利要求4所述的流延方法，其中，从所述吐出口到所述支承体的距离为3mm以下。

9.根据权利要求5所述的流延方法，其中，从所述吐出口到所述支承体的距离为3mm以下。

10.根据权利要求1或2所述的流延方法，其中，所述第2溶液通过狭缝状流路被引导至所述合流部，所述流路沿所述流延膜的宽度方向较长，且间隙为1mm以下。

11.根据权利要求3所述的流延方法，其中，所述第2溶液通过狭缝状流路被引导至所述合流部，所述流路沿所述流延膜的宽度方向较长，且间隙为1mm以下。

12.根据权利要求4所述的流延方法，其中，所述第2溶液通过狭缝状流路被引导至所述合流部，所述流路沿所述流延膜的宽度方向较长，且间隙为1mm以下。

13.根据权利要求5所述的流延方法，其中，所述第2溶液通过狭缝状流路被引导至所述合流部，所述流路沿所述流延膜的宽度方向较长，且间隙为1mm以下。

14.一种薄膜制造方法，由流延膜制造薄膜，其中，所述流延膜通过从流延模的吐出口向支承体上吐出第1溶液与第2溶液来形成，所述薄膜制造方法具备以下步骤：

使所述第1溶液与第2溶液在所述流延模的合流部合流，其中，所述第2溶液的粘度低于所述第1溶液，从最上游侧合流点到所述吐出口的距离在0mm以上5mm以下的范围内，所述最上游侧合流点为所述合流部的最上游侧的端部；

将合流的所述第1溶液与所述第2溶液流延于行进的所述支承体上来形成流延膜：及

通过从所述支承体剥离所述流延膜来形成所述薄膜。

15.一种流延模，其中，该流延模具备以下：

第1溶液流动的第1流路；

粘度低于所述第1溶液的第2溶液流动的第2流路；

合流部，使所述第1流路的第1溶液流与所述第2流路的第2溶液流合流；及

吐出口，吐出所述第1溶液与所述第2溶液，从最上游侧合流点到所述吐出口的距离在0mm以上5mm以下的范围内，所述最上游侧合流点为所述合流部的最上游侧的端部。

16.一种流延装置，其中，该装置具备以下：

流延模，吐出第1溶液与第2溶液；

第1流路，设置于所述流延模且所述第1溶液在其中流动；

第2流路，设置于所述流延模且所述第2溶液在其中流动，所述第2溶液的粘度低于所述第1溶液；

合流部，使所述第1流路的第1溶液流与所述第2流路的第2溶液流合流，所述合流部设置于所述流延模；

吐出口，设置于所述流延模且吐出所述第1溶液与所述第2溶液，从最上游侧合流点到所述吐出口的距离在0mm以上5mm以下的范围内，所述最上游侧合流点为所述合流部的最上游侧的端部；及

支承体，被流延所述第1溶液与所述第2溶液。

17.一种薄膜制造设备，其中，该设备具备以下：

流延模，吐出第1溶液与第2溶液；

第1流路，设置于所述流延模且所述第1溶液在其中流动；

第2流路，设置于所述流延模且所述第2溶液在其中流动，所述第2溶液的粘度低于所述第1溶液；

合流部，使所述第1流路的第1溶液流与所述第2流路的第2溶液流合流，所述合流部设置于所述流延模；

吐出口，设置于所述流延模且吐出所述第1溶液与所述第2溶液，从最上游侧合流点到所述吐出口的距离在0mm以上5mm以下的范围内，所述最上游侧合流点为所述合流部的最上游侧的端部；

支承体，被流延所述第1溶液与所述第2溶液来形成流延膜；及

干燥装置，对从所述支承体剥离的所述流延膜进行干燥来形成薄膜。