[发明专利]一种CVD反应器在审
| 申请号： | 201310047081.6 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN103964443A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 钳伟;蔡春立;于曙光;冉占山 | 申请（专利权）人： | 六九硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 反应器 | ||
【权利要求书】：
1.一种CVD反应器，包括硅芯（1）和供原料气体进入所述CVD反应器内部空间中的进气口，其特征在于，还包括：
能够允许所述硅芯（1）进入其内腔中的管形套筒（2）；
与所述进气口导通的导气管（3），且所述导气管（3）与所述套筒（2）导通。
2.根据权利要求1所述的CVD反应器，其特征在于，所述导气管（3）与所述套筒（2）具有多个导通路径（4）。
3.根据权利要求1所述的CVD反应器，其特征在于，所述导气管（3）与所述套筒（2）平行设置，且固定连接。
4.根据权利要求3所述的CVD反应器，其特征在于，一个所述导气管（3）与多个所述套筒（2）连接且导通。
5.根据权利要求1所述的CVD反应器，其特征在于，所述套筒（2）的高度小于所述硅芯（1）的高度。
6.根据权利要求5所述的CVD反应器，其特征在于，所述套筒（2）的高度范围为1900mm-2200mm。
7.根据权利要求1所述的CVD反应器，其特征在于，所述套筒（2）的内径为200mm-250mm。
8.根据权利要求4所述的CVD反应器，其特征在于，一个所述导气管（3）上连接有四个所述套筒（2）。
9.根据权利要求2所述的CVD反应器，其特征在于，所述多个导通路径（4）沿所述导气管（3）的轴向均匀分布。
10.根据权利要求9所述的CVD反应器，其特征在于，所述导通路径（4）为4-6个。
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