[发明专利]监测电子吸盘温度的装置

权利要求书

1.一种监测电子吸盘温度的装置，用于监测电子吸盘的温度，所述电子吸盘设有冷却剂流入管以及冷却剂流出管，其特征在于，所述监测电子吸盘温度的装置包括：

固定板，所述固定板设有一孔，并固定安装在所述冷却剂流出管上；

检测探头，经由所述固定板的孔插入所述冷却剂流出管中；

显示器，与所述检测探头连接，用于显示所述检测探头的检测结果。

2.如权利要求1所述的监测电子吸盘温度的装置，其特征在于，所述固定板还包括固定板密封圈，所述固定板密封圈设置于所述固定板的孔中。

3.如权利要求2所述的监测电子吸盘温度的装置，其特征在于，所述固定板通过螺丝固定安装在所述冷却剂流出管上。

4.如权利要求1所述的监测电子吸盘温度的装置，其特征在于，所述检测探头包括热电阻探头、夹板以及检测探头密封圈，所述热电阻探头固定于所述夹板上，所述检测探头密封圈固定于所述夹板表面并围绕所述热电阻探头。

5.如权利要求4所述的监测电子吸盘温度的装置，其特征在于，所述热电阻探头为铂热电阻探头。