[发明专利]输送器以及部件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及输送部件的输送器（handler），特别是涉及具有调节部件的温度的温度调节部的输送器，以及具备该输送器的部件检查装置。

背景技术

通常，在检查电子部件的电气特性的部件检查装置中，使用在基台上的托盘与检查用插口之间输送检查前、检查后的电子部件的输送器。在这样的部件检查装置中，存在在将电子部件置于0℃以下的低温后检查该电子部件的电气特性的装置。

以往，作为冷却电子部件的方法，例如公知有如专利文献1记载那样的技术。在专利文献1中，在载台载置有托盘，该托盘具有多个支承有电子部件的支承部。在该载台的内部形成有冷却路径，该冷却路径经由载台对托盘进行冷却。而且，通过将冷却了压缩空气的制冷剂从制冷剂供给部供给至载台的冷却路径，来经由托盘冷却电子部件。

专利文献1：日本特开2004-347329号公报

然而，在利用上述的构成冷却多个载台的情况下，需要在每个载台设置根据温度控制制冷剂的供给量的流量控制阀。然而，若是这样的构成，会导致连接制冷剂的供给源与各冷却路径的配管的构造变得复杂。另外，由于多个流量控制阀各自的状态由于载台不同而不同，所以对控制流量控制阀的开阀以及闭阀的控制部造成较大的负荷。

发明内容

本发明是鉴于上述的实际情况而完成的，其目的在于提供一种能够抑制在对支承多个部件的多个支承部进行冷却之后造成控制部件的温度的控制部的控制的负荷增大与冷却回路复杂化的输送器，以及具备该输送器的部件检查装置。

本发明中的输送器的一实施方式具备：第一冷却路径，其利用制冷剂对支承部件的第一支承部进行冷却；第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，第二支承部支承部件且与上述第一支承部不同；第一加热器，其对上述第一支承部进行加热；第二加热器，其对上述第二支承部进行加热且与上述第一加热器不同；第一温度传感器，其对上述第一支承部的温度进行检测；第二温度传感器，其对上述第二支承部的温度进行检测且与上述第一温度传感器不同；以及制冷剂供给部，其其将制冷剂通过流量控制阀向上述第一冷却路径以及第二冷却路径供给，上述第一冷却路径以及第二冷却路径被并列地连接于上述制冷剂供给部，上述输送器具备控制部，上述控制部根据上述第一温度传感器的检测值使上述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使上述第一加热器的输出变化，上述控制部根据上述第二温度传感器的检测值使上述第二加热器的输出变化。

根据本发明中的输送器的一实施方式，由于第一冷却路径和第二冷却路径被并列地连接于制冷剂供给部，所以通过了共通的流量控制阀的来自制冷剂供给部的制冷剂被供给至第一冷却路径以及第二冷却路径。其结果是，与分别在第一冷却路径以及第二冷却路径单独地设置冷却供给部的情况相比，能够抑制冷却回路复杂化。

另外，对于第一支承部而言，控制部根据第一温度传感器的检测值改变流量控制阀与第一加热器的输出，另一方面，对于第二支承部而言，控制部根据第二温度传感器的检测值仅改变第二加热器的输出。其结果是，能够在控制部件的温度之后减少对控制部的负荷。因此，能够实现简化冷却部件的冷却回路，并且，能够在将部件控制在目标温度之后减少对控制部的负荷。

本发明中的输送器的其他的实施方式的上述第一冷却路径是制冷剂的流量比第二冷却路径小的流路。

根据本发明中的输送器的其他的实施方式，由于第二冷却路径中的制冷剂的流量比第一冷却路径中的制冷剂的流量大，所以第二支承部比第一支承部被冷却至更低的温度。其结果是，能够实现简化冷却回路以及减少向控制部施加的负荷，并能够将第一支承部以及第二支承部控制在相同的温度，能够将第二支承部控制在比第一支承部的温度更低的温度。

本发明中的输送器的其他的实施方式具备缩小上述第一冷却路径中的制冷剂的流量的节流阀。

根据本发明中的输送器的其他的实施方式，由于利用第一节流阀缩小第一冷却路径中的制冷剂的流量，所以即使在第一冷却路径的流路截面积比第二冷却路径的流路截面积大的情况下，也能够使第一冷却路径中的制冷剂的流量比第二冷却路径小。因此，与未具有这样的节流阀的构成相比，还能够提高第一冷却路径以及第二冷却路径的形状、大小所涉及的自由度。

本发明中的输送器的其他的实施方式具备：收容容器，其收容有上述支承部；第一排出路径，其将上述第一冷却路径的出口与上述收容容器连通；第二排出路径，其将上述第二冷却路径的出口与上述收容容器连通。