[发明专利]输送器以及部件检查装置

权利要求书

1.一种输送器，其特征在于，具备：

第一冷却路径，其利用制冷剂对第一支承部进行冷却，所述第一支承部对部件进行支承；

第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，所述第二支承部对部件进行支承且与所述第一支承部不同；

第一加热器，其对所述第一支承部进行加热；

第二加热器，其对所述第二支承部进行加热且与所述第一加热器不同；

第一温度传感器，其对所述第一支承部的温度进行检测；

第二温度传感器，其对所述第二支承部的温度进行检测且与所述第一温度传感器不同；以及

制冷剂供给部，其将制冷剂通过流量控制阀供给至所述第一冷却路径以及第二冷却路径，

所述第一冷却路径以及第二冷却路径被并列地连接于所述制冷剂供给部，

所述输送器具备控制部，所述控制部根据所述第一温度传感器的检测值使所述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使所述第一加热器的输出变化，所述控制部根据所述第二温度传感器的检测值使所述第二加热器的输出变化。

2.根据权利要求1所述的输送器，其特征在于，

所述第一冷却路径是制冷剂的流量比第二冷却路径小的流路。

3.根据权利要求1或者2所述的输送器，其特征在于，

具备缩小所述第一冷却路径中的制冷剂的流量的节流阀。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的输送器，其特征在于，具备：

收容容器，其收容有所述支承部；

第一排出路径，其将所述第一冷却路径的出口与所述收容容器连通；以及

第二排出路径，其将所述第二冷却路径的出口与所述收容容器连通。

5.根据权利要求4所述的输送器，其特征在于，具备：

第一止回阀，其配设于所述第一排出路径并抑制气体向所述第一冷却路径的流入；以及

第二止回阀，其配设于所述第二排出路径并抑制气体向所述第二冷却路径的流入。

6.根据权利要求5所述的输送器，其特征在于，

在所述第一排出路径中的所述第一止回阀的下游侧连接有所述第二排出路径中的所述第二止回阀的下游侧的部位。

7.根据权利要求6所述的输送器，其特征在于，

在所述第一排出路径中的连接有所述第二排出路径的部位的下游侧具备升温部，所述升温部使通过所述第一排出路径的制冷剂升温。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的输送器，其特征在于，

所述输送器具有多个所述第二冷却路径，

所述输送器具备：第一节流阀，其缩小所述第一冷却路径中的制冷剂的流量；以及

第二节流阀，其被设置于所述多个第二冷却路径的各个路径中，并缩小所述第二冷却路径中的制冷剂的流量。

9.一种部件检查装置，其特征在于，具备：

第一冷却路径，其利用制冷剂对第一支承部进行冷却，所述第一支承部对部件进行支承；

第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，所述第二支承部对部件进行支承且与所述第一支承部不同；

第一加热器，其对所述第一支承部进行加热；

第二加热器，其对所述第二支承部进行加热且与所述第一加热器不同；

第一温度传感器，其对所述第一支承部的温度进行检测；

第二温度传感器，其对所述第二支承部的温度进行检测且与所述第一温度传感器不同；以及

制冷剂供给部，其将制冷剂通过流量控制阀供给至所述第一冷却路径以及第二冷却路径，

所述第一冷却路径以及第二冷却路径被并列地连接于所述制冷剂供给部，

所述检查装置具备控制部，所述控制部根据所述第一温度传感器的检测值使所述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使所述第一加热器的输出变化，所述控制部根据所述第二温度传感器的检测值使所述第二加热器的输出变化。