[发明专利]引线框及其制造方法和半导体装置及其制造方法有效
| 申请号: | 201310031813.2 | 申请日: | 2013-01-28 |
| 公开(公告)号: | CN103227115B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
| 发明(设计)人: | 宫尾仁 | 申请(专利权)人: | 新光电气工业株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/495;H01L21/56;H01L23/31 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉,黄纶伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 引线 及其 制造 方法 半导体 装置 | ||
1.一种引线框的制造方法,其特征在于,该制造方法具有以下工序:
通过第1冲压加工在芯片安装盘的背面形成矩形状的第1凹部,所述第1凹部在一方的相对的2边具有在深度方向上倾斜的第1倾斜侧面,在另一方的相对的2边具有在深度方向上直立的直立侧面;以及
通过第2冲压加工,以在所述第1凹部的所述直立侧面的横向区域中配置具有在深度方向上倾斜的第2倾斜侧面的第2凹部的所述第2倾斜侧面的方式,在所述芯片安装盘的背面形成所述第2凹部,由此使得所述第1凹部的所述直立侧面成为朝向与所述第1倾斜侧面相反的方向倾斜的反向倾斜侧面,
所述芯片安装盘的正面是半导体元件搭载面。
2.根据权利要求1所述的引线框的制造方法,其特征在于,
所述第1凹部的形状是横置梯形柱形状或横置三棱柱形状,
所述第2凹部的形状是使四棱锥上下反转而成的形状。
3.根据权利要求2所述的引线框的制造方法,其特征在于,
在所述芯片安装盘上形成的多个所述第1凹部中,所述第1凹部的配置角度不同,相邻的所述第1凹部被配置成它们的长度方向的朝向正交,
所述长度方向是连接所述一方的相对的2边的方向。
4.根据权利要求1所述的引线框的制造方法,其特征在于,
所述反向倾斜侧面是使所述直立侧面的一部分发生变形而形成的,并且形成于所述另一方的相对的2边的中央部。
5.一种半导体装置的制造方法,其特征在于,该制造方法具有以下工序:
获得引线框的工序,该引线框通过具有以下工序的方法获得:
通过第1冲压加工在芯片安装盘的背面形成矩形状的第1凹部,所述第1凹部在一方的相对的2边具有在深度方向上倾斜的第1倾斜侧面,在另一方的相对的2边具有在深度方向上直立的直立侧面;以及
通过第2冲压加工,以在所述第1凹部的所述直立侧面的横向区域中配置具有在深度方向上倾斜的第2倾斜侧面的第2凹部的所述第2倾斜侧面的方式,在所述芯片安装盘的背面形成所述第2凹部,由此使得所述第1凹部的所述直立侧面成为朝向与所述第1倾斜侧面相反的方向倾斜的反向倾斜侧面;
在所述芯片安装盘的正面的半导体元件搭载面上安装半导体元件;
利用导线来连接所述半导体元件与所述引线框的引线;
以露出所述引线的方式,用树脂部密封所述芯片安装盘的两面、所述半导体元件以及所述导线;以及
从所述引线框的框部切掉所述芯片安装盘以及所述引线。
6.一种引线框,其特征在于,该引线框具备:
芯片安装盘;
矩形状的第1凹部,其形成在所述芯片安装盘的背面,在一方的相对的2边具有在深度方向上倾斜的第1倾斜侧面,在另一方的相对的2边具有在深度方向上朝向与所述第1倾斜侧面相反的方向倾斜的反向倾斜侧面;以及
第2凹部,其形成在所述第1凹部的横向区域的所述芯片安装盘的背面,具有在深度方向上倾斜的第2倾斜侧面,所述第2倾斜侧面与所述第1凹部的所述反向倾斜侧面相对地配置,
所述芯片安装盘的正面是半导体元件搭载面。
7.根据权利要求6所述的引线框,其特征在于,
所述第1凹部的形状是横置梯形柱形状或横置三棱柱形状,
所述第2凹部的形状是使四棱锥上下反转而成的形状。
8.根据权利要求7所述的引线框,其特征在于,
在所述芯片安装盘上形成的多个所述第1凹部中,所述第1凹部的配置角度不同,相邻的所述第1凹部被配置成它们的长度方向的朝向正交,
所述长度方向是连接所述一方的相对的2边的方向。
9.根据权利要求6所述的引线框,其特征在于,
所述第1凹部的所述反向倾斜侧面配置在所述另一方的相对的2边的一部分中,在所述另一方的相对的2边的端部侧配置了直立侧面。
10.一种半导体装置,其特征在于,该半导体装置具备:
芯片安装盘;
矩形状的第1凹部,其形成在所述芯片安装盘的背面,在一方的相对的2边具有在深度方向上倾斜的第1倾斜侧面,在另一方的相对的2边具有在深度方向上朝向与所述第1倾斜侧面相反的方向倾斜的反向倾斜侧面;
第2凹部,其形成在所述第1凹部的横向区域的所述芯片安装盘的背面,具有在深度方向上倾斜的第2倾斜侧面,所述第2倾斜侧面与所述第1凹部的所述反向倾斜侧面相对地配置;
半导体元件,其安装在所述芯片安装盘的正面的半导体元件搭载面上;
并排地设置在所述芯片安装盘的外侧的多个引线;
连接所述半导体元件与所述引线的导线;以及
树脂部,其以露出所述引线的方式,密封所述芯片安装盘的两面、所述半导体元件以及所述导线。
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