[发明专利]多晶硅废气淋洗系统

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅废气淋洗系统。

背景技术

现有改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗装置是由淋洗塔、NaOH溶液循环泵、安全液封罐、放空管、接收地槽。废气淋洗塔为湿法吸收型净化处理设备，功能为喷淋分组分级式，淋洗液是用氢氧化钠（NaOH）为吸收中和液。原本设计连续废气为两套淋洗塔对两个单独的废液接收地槽，循环泵和排污泵安装在废液接收地槽旁边，直接抽接收地槽内的淋洗液进行循环淋洗，淋洗完的淋洗液通过淋洗塔的出口回到接收地槽内。其工作原理为：废气由进气口进入淋洗塔内缓速进入第一级喷淋段，进行第一级喷淋，使气液二相得到第一次充分接触，经一级淋洗后的废气再减速进入第二级喷淋功能段，再使废气得到更充分的气液二相接触反应，经第二级处理后的废气再减速进入第三级喷淋功能段，再使废气得到更充分的气液二相接触反应，经第三级喷淋后的废气从淋洗塔的顶部进入安装在淋洗塔顶部平台上的安全液封罐内，再与安全液封罐内的淋洗液反应，达到国家废气排放二级排放标准后经放空管排入大气。

然而，目前对于多晶硅废气的淋洗手段仍有待改进。

发明内容

本发明是基于发明人的下列发现而完成的：

发明人发现，目前采用的淋洗液是碱性溶液例如氢氧化钠溶液，由于碱性溶液例如氢氧化钠溶液极易与氯硅烷或氯化氢发生反应，因而，碱性溶液例如氢氧化钠溶液与氯硅烷或氯化氢发生反应后的淋洗液从淋洗塔的出口流入到循环池中时，会在循环池中生成大量的废渣，废渣主要成分为Na₂SiO₃、SiO₂、NaCl等。这些废渣的一部分会飘浮在循环池的顶部，另一部分会沉降在循环池的底部，随着底部废渣越积越多，会导致循环泵及排污泵的进口堵塞，同时导致渣水的分离困难，池体清理困难，影响到废气的处理效率。

本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。为此，本发明的一个目的在于提出一种能够有效进行多晶硅废气淋洗并且能够有效进行淋洗液循环的多晶硅废气淋洗系统。

在本发明的一个方面，本发明提出了一种多晶硅废气淋洗系统。根据本发明的实施例，该系统包括：第一淋洗塔，所述第一淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第二淋洗塔，所述第二淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第一淋洗液循环池，所述第一淋洗液循环池分别与所述第一淋洗塔和第二淋洗塔相连，用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；第二淋洗液循环池，所述第二淋洗液循环池与所述第一淋洗液循环池连通，用于接收来自所述第一淋洗液循环池的淋洗液；废渣阻挡部件，所述废渣阻挡部件设置在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池之间，用于阻止废渣从所述第一淋洗液循环池进入所述第二淋洗液循环池；第一循环泵，所述第一循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第一淋洗塔内；以及第二循环泵，所述第二循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第二淋洗塔内。由于第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液均首先进入第一淋洗液循环池中，并且在第一淋洗液循环池和第二淋洗液循环池之间设置有废渣阻挡部件，从而可以有效地减少废渣在第二淋洗液循环池中的聚集和沉积，从而可以有效地对淋洗液进行循环利用，并且能够有效地对多晶硅废气进行淋洗。

根据本发明的实施例，该多晶硅废气淋洗系统还可以具有下列附加技术特征：

在本发明的一个实施例，所述淋洗液为氢氧化钠溶液6重量%～8重量%。在本发明的一个实施例，所述废渣阻挡部件为格栅板，所述格栅板上形成有通孔。

在本发明的一个实施例，所述通孔为方形通孔或者圆形通孔。

在本发明的一个实施例，所述方形通孔的边长为15~20mm。

在本发明的一个实施例，所述圆形通孔的直径为15~20mm。

在本发明的一个实施例，在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池的侧壁形成重叠区域，其中，在所述重叠区域上形成有连通口，所述废渣阻挡部件设置在所述连通口中。

在本发明的一个实施例，在所述重叠区域上形成有多个连通口，其中，每个连通口均设置有至少一个废渣阻挡部件。

在本发明的一个实施例，所述连通口设置在液面下至少400mm。

在本发明的一个实施例，所述第一循环泵和第二循环泵的至少一个设置在所述第二淋洗液循环池内远离所述第一淋洗液循环池的一侧。

根据本发明的实施例的多晶硅废气淋洗系统可以至少具有下列优点之一：