[发明专利]多晶硅废气淋洗系统

权利要求书

1.一种多晶硅废气淋洗系统，其特征在于，包括：

第一淋洗塔，所述第一淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；

第二淋洗塔，所述第二淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；

第一淋洗液循环池，所述第一淋洗液循环池分别与所述第一淋洗塔和第二淋洗塔相连，用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；

第二淋洗液循环池，所述第二淋洗液循环池与所述第一淋洗液循环池连通，用于接收来自所述第一淋洗液循环池的淋洗液；

废渣阻挡部件，所述废渣阻挡部件设置在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池之间，用于阻止废渣从所述第一淋洗液循环池进入所述第二淋洗液循环池；

第一循环泵，所述第一循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第一淋洗塔内；以及

第二循环泵，所述第二循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第二淋洗塔内。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述淋洗液为氢氧化钠溶液6重量%～8重量%。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述废渣阻挡部件为格栅板，所述格栅板上形成有通孔。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述通孔为方形通孔或者圆形通孔。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述方形通孔的边长为15~20mm。

6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述圆形通孔的直径为15~20mm。

7.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池的侧壁形成重叠区域，

其中，在所述重叠区域上形成有连通口，所述废渣阻挡部件设置在所述连通口中。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，在所述重叠区域上形成有多个连通口，其中，每个连通口均设置有至少一个废渣阻挡部件。

9.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述连通口设置在液面下至少400mm。

10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一循环泵和第二循环泵的至少一个设置在所述第二淋洗液循环池内远离所述第一淋洗液循环池的一侧。