[发明专利]基于固支梁和间接式功率传感器的微波检测系统及其检测方法

权利要求书

1.基于固支梁和间接式功率传感器的微波检测系统，其特征是所述微波检测系统包括MEMS可重构天线、MEMS可调滤波器、控制电路和微波检测器，MEMS可重构天线接收微波信号，经MEMS可调滤波器后，得到待测微波信号输入微波检测器，控制电路分别连接MEMS可重构天线和MEMS可调滤波器，

所述微波检测器在GaAs衬底上设有待测信号传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、一个功合器以及四个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线输入一个MEMS间接式微波功率传感器，两个MEMS固支梁结构悬于待测信号传输线的信号线上方，两个MEMS固支梁结构的固支梁一端分别连接一个MEMS间接式微波功率传感器，另一端分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS间接式微波功率传感器。

2.根据权利要求1所述的基于固支梁和间接式功率传感器的微波检测系统，其特征是微波检测器的两个MEMS固支梁结构之间的距离L为中心频率点所对应波长的1/4，所述中心频率点指所述微波检测器的频率检测范围的中心频率点。

3.根据权利要求1或2所述的基于固支梁和间接式功率传感器的微波检测系统，其特征是微波检测器的MEMS固支梁结构与功合器以及MEMS间接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接，功合器与MEMS间接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接；固支梁结构包括固支梁和锚区，固支梁与下方的待测信号传输线的信号线之间设有绝缘介质层。

4.根据权利要求1或2所述的基于固支梁和间接式功率传感器的微波检测系统，其特征是微波检测器的功合器包括不对称共面带线ACPS信号线、地线和隔离电阻，功合器的输入端和输出端之间为不对称共面带线ACPS信号线，隔离电阻设置在两个输入端之间。

5.根据权利要求3所述的基于固支梁和间接式功率传感器的微波检测系统，其特征是微波检测器的功合器包括不对称共面带线ACPS信号线、地线和隔离电阻，功合器的输入端和输出端之间为不对称共面带线ACPS信号线，隔离电阻设置在两个输入端之间。