[发明专利]一种使用金刚石车床加工金属反射镜的方法

权利要求书

1.一种使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：采用金刚石车床对被加工金属反射镜进行初加工，再通过干涉仪检测被加工金属反射镜面形，得到被加工金属反射镜面形相对于设计要求面形的偏差，并用Zernike多项式描述面形偏差，最后在该面形偏差图上选取多个点来指导金刚石车床进行金属反射镜面形精密加工；该方法具体包括：

步骤S1：金刚石车床先通过设置初始面形参数，来对被加工金属反射镜光学面进行初始加工；

步骤S2：采用干涉仪检测被加工金属反射镜工件面形，得到被加工金属反射镜工件初始面形；

步骤S3：将测量并提取出初始面形数据，计算初始面形相对于设计要求金属反射镜面形的偏差并形成面形偏差图，并用Zernike多项式描述面形偏差；

步骤S4：在面形偏差图上选取一条过被加工金属反射镜旋转中心的直线，按设定的步距在这条直线上选取多个偏差点；

步骤S5：将选取出来的偏差点生成指导文件，指导金刚石车床对被加工金属反射镜面形进行精密加工，得到加工后的被加工金属反射镜；

步骤S6：重复步骤S1～S5，直至得到满足设计要求的金属反射镜。

2.如权利要求1所述使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述金刚石车床具有控制单元，在金刚石车床的控制单元中设置被加工金属反射镜工件的初始面形参数，使金刚石车床对被加工金属镜工件的光学面进行初始加工，得到被加工金属反射镜面形。

3.如权利要求1所述使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述金刚石车床为单点式金刚石车床。

4.如权利要求1所述使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述形成面形偏差图的步骤为：先将干涉仪测量得到的初始面形数据转化为初始面形矩阵形式，再用初始面形矩阵与设计要求金属反射镜的面形矩阵作差，计算得到初始面形相对于设计要求金属反射镜面形的偏差并形成面形偏差图。

5.如权利要求1所述的使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述选取一条过被加工金属反射镜旋转中心的直线，与X轴之间的夹角为方位角，所述方位角为0度。

6.如权利要求1所述的使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述设定的步距为50nm的整数倍，且介于被加工金属反射镜工件的口径的1/50,000至1/100,000之间，被加工金属反射镜口径需大于1mm。

7.如权利要求1所述使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述偏差点生成指导文件是将选取的多个偏差点按金刚石车床控制单元所需的输入文件的格式进行编排，形成指导金刚石车床进行精密加工的文件。

8.如权利要求1所述使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述干涉仪的测量标称精度应不小于0.05λ，波长λ为632.8nm。

9.如权利要求4所述使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述Zernike多项式采用ISO格式。

10.如权利要求4所述使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：所述的面形偏差图采用圆柱坐标的表达形式，圆柱坐标中的极角和极径用来唯一代表被加工金属反射镜面上的点，纵坐标代表被加工金属反射镜面上的点相对设计要求金属反射镜面形的失高偏差。