[发明专利]封装结构及封装方法在审
| 申请号: | 201310025212.0 | 申请日: | 2013-01-24 |
| 公开(公告)号: | CN103871990A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
| 发明(设计)人: | 薛淦浩;杨之光;古永延 | 申请(专利权)人: | 巨擘科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
| 代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
| 地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 封装 结构 方法 | ||
技术领域
本发明涉及封装结构及封装方法技术领域,特别涉及一种能降低封装应力的封装结构及封装方法。
背景技术
随着集成电路(Integrated Circuit)技术的飞快发展,相应的封装技术亦不断地达到前所未有、创新的技术水准。当前IC裸晶、封装基板及电路板等组件对外进行电性连接的锡球(solder ball)、凸块(stud)、焊垫(pad)或电性连接接点不仅数量越来越多、尺寸越来越小,所述锡球、凸块接点之间的距离亦同样地不断缩减(fine pitch),以符合当前电子产品体积不断地缩小的设计趋势。同样地,封装基板、电路板的厚度亦越来越薄。
一般而言,目前为符合高积集度的封装需求,芯片倒装封装(Flip-Chip)为主要采用的技术。早期采用锡球的直径(高度bump height),大约为100μm,随着集成电路积集度的不断提高,封装密度亦持续攀升。当前一般业界多已采用凸块,并且若为球型则直径约在30μm-50μm,而任何类型的凸块则高度约在20-30μm之间。如图1所示,现今芯片倒装封装(Flip-Chip)中,IC裸晶1包括多个焊垫(附图中未显示),先将多个直径为30μm-50μm或高度为20μm -30μm左右的凸块(stud)2形成在IC裸晶1的表面。硬性封装基板3上下表面皆具有多个封装焊垫(附图中未显示)。IC裸晶1透过上表面的所述凸块(stud)2与硬性多层封装基板3的所述封装焊垫接触,实施加压或加热的工艺后,以进行对IC裸晶1封装。所述凸块(stud)2之间间隔(pitch)大约是100μm左右,根据设计要求所需,当前凸块(stud)2之间间隔(pitch)甚至可能小至50μm。
如图1所示,硬性电路板(PCB)4上表面具有多个电性连接接点(附图中未显示)。接着,硬性多层封装基板3通过锡球5与硬性电路板4上表面的所述电性连接接点接触后,实施加压或加热工艺后,以使IC裸晶1通过硬性封装基板3与硬性电路板4接合。
如前所述,当锡球(solder ball)、凸块(stud)、焊垫(pad)或电性连接接点数量尚不多,且硬性多层封装基板3、硬性电路板4相对地具有相当的厚度,如图1所示,实施加压或加热工艺,进行硬性多层封装基板3对IC裸晶1封装或进行硬性多层封装基板3与硬性电路板4接合,各组件尺寸误差容许值较大,然而更重要的问题是,如图所示,由于硬性多层封装基板3必然存在厚度不均、不平坦或者因电路设计而金属层、介电层分布不可能平均,其表面也不平坦的情形,同样地硬性多层封装基板3,硬性电路板4必然存在厚度不均、不平坦或者因电路设计而金属层、介电层分布不可能平均,其表面也不平坦的情形。
一般而言,Flip-Chip技术中,凸块或锡球接合工艺对硬性多层封装基板3与硬性电路板4施加的压力可达1-10kgf/cm2,对凸块2、硬性多层封装基板3、硬性电路板4及锡球5等材料而言均为不小的压力。因此,进行前述封装及接合时,硬性多层封装基板3与硬性电路板4必因多个凸块2或多个锡球5的接合,所承受一定程度的应力。前述程度的应力在其相对其他组件具有尺寸较为大的厚度时,并不会对多层封装基板3与电路板4产生明显的影响。而现有技术将凸块2先形成在封装基板3上后实施加压或加热工艺,进行对IC裸晶1封装。其目的仅在消除对IC裸晶1所造成的损伤。
再者,进行前述封装及接合时,出现如图中所示因IC裸晶1、多层封装基板3及电路板4皆为硬性、具备刚性组件,而硬性多层封装基板3,硬性电路板4必然存在厚度不均、不平坦或者因电路设计而金属层、介电层分布不可能平均,其表面也不平坦的情形,即便凸块2或锡球5制作得再精细,多个凸块2之间或多个锡球5之间一定会存在大小尺寸形状等的差异,因而导致空焊、冷焊的情形。
请参阅图2,现有技术中锡球(solder ball)、凸块(stud)、焊垫(pad)或电性连接接点数量越来越多,且硬性封装基板、硬性电路板越来越薄,组件封装接合完成状的态。如图2所示,在芯片倒装封装(Flip-Chip)工艺中,IC裸晶1具有多个第一焊垫(pad)11,硬性封装基板3上表面具有多个第二焊垫31,下表面具有多个第三焊垫32。硬性电路板4上表面具有多个电性连接接点41。
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