[发明专利]抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法

说明书

技术领域

本发明涉及激光设备领域，特别是涉及一种抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法。

背景技术

随着大功率气体激光器在切割、焊接、熔覆等领域的广泛使用，国内外加工市场对大功率气体激光器的需求逐年呈上升趋势。在大批进口大功率气体激光器涌入市场的同时，国产的大功率气体激光器也逐渐崛起，其加工和使用性能已慢慢接近国外高水平。

激光器内部的核心部件，即谐振腔。谐振腔内的洁净程度在很大程度上直接影响谐振腔的稳定性和使用寿命。气体激光器（主要是快速轴流和快速横流激光器）需要有罗茨泵或涡轮风机驱动工作气体流动进行工作，而罗茨泵或涡流风机关停后，罗茨泵或涡流风机的润滑油温度很高，由于高温，润滑油挥发形成油气，通过轴与泵体之间的缝隙进入谐振腔内，冷却后沉积在谐振腔内部及光学镜片上，长时间的油气积累会导致谐振腔放电效果变差及光学系统损伤，严重影响了气体激光器的稳定性和使用寿命。

发明内容

基于此，有必要提供一种能有效控制油气污染，提高气体激光器的稳定性和延长气体激光器的使用寿命的抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法。

此外，还有必要提供一种能有效控制油气污染，提高气体激光器的稳定性和延长气体激光器的使用寿命的抑制气体激光器的谐振腔内油污染的系统。

一种抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法，其中，所述气体激光器包括谐振腔、真空泵、驱动装置，所述真空泵与所述谐振腔相连通，所述驱动装置驱动谐振腔内的工作气体流动，所述方法包括以下步骤：

检测到所述驱动装置关机后，控制所述真空泵继续运行，并控制所述真空泵抽取所述谐振腔内的气体；

当检测到抽取气体使得所述谐振腔内的气压小于等于第一预设气压时，将保护气体回充入所述谐振腔内，且控制所述真空泵持续运行；

当检测到所述回充保护气体使得所述谐振腔内的气压大于等于第二预设气压时，控制所述真空泵停止运行，其中，所述第一预设气压小于所述第二预设气压。

在其中一个实施例中，所述方法还包括步骤：

对所述驱动装置、真空泵及所述谐振腔进行冷却。

在其中一个实施例中，所述驱动装置为涡轮泵或罗茨泵。

一种抑制气体激光器的谐振腔内油污染的系统，所述气体激光器包括谐振腔、真空泵、驱动装置，所述真空泵与所述谐振腔相连通，所述驱动装置驱动谐振腔内的工作气体流动，所述系统包括：

控制模块，用于在检测到所述驱动装置关机后，控制所述真空泵继续运行，并控制所述真空泵抽取所述谐振腔内的气体；

检测模块，用于检测所述谐振腔内的气压，并将检测的气压分别与第一预设气压和第二预设气压进行比较；

回充模块，用于当检测到抽取气体使得所述谐振腔内的气压小于等于第一预设气压时，将保护气体回充入所述谐振腔内，且所述控制模块还用于控制所述真空泵持续运行；

所述控制模块还用于当检测到所述回充保护气体使得所述谐振腔内的气压大于等于第二预设气压时，控制所述真空泵停止运行，其中，所述第一预设气压小于所述第二预设气压。

在其中一个实施例中，所述系统还包括：

冷却模块，用于对所述驱动装置、真空泵及所述谐振腔进行冷却。

上述抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法和系统，通过在关闭驱动装置后，控制真空泵继续运行，直到谐振腔内的气压小于等于第一预设气压后，回充入保护气体，直到谐振腔内的气压大于等于第二预设气压后，停止真空泵，如此因保持了真空泵持续运行，抽气延时且提高了真空度，在充入保护气体的同时辅以抽真空，有效抑制了油气渗入谐振腔内，提高了气体激光器的稳定性且延长了气体激光器的使用寿命。

附图说明

图1为一个实施例中抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法的流程示意图；

图2为一个实施例中气体激光器的结构示意图；

图3为一个实施例中抑制气体激光器的谐振腔内油污染的系统的结构示意图；

图4为一个实施例中抑制气体激光器的谐振腔内油污染的系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体的实施例及附图对抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法和系统的技术方案进行详细的描述，以使其更加清楚。

如图1所示，在一个实施例中，一种抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法，包括以下步骤：

步骤S110，检测到驱动装置关机后，控制真空泵继续运行，并控制该真空泵抽取该谐振腔内的气压。