[发明专利]抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法

权利要求书

1.一种抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法，所述气体激光器包括谐振腔、真空泵、驱动装置，所述真空泵与所述谐振腔相连通，所述驱动装置驱动谐振腔内的工作气体流动，所述方法包括以下步骤：

检测到所述驱动装置关机后，控制所述真空泵继续运行，并控制所述真空泵抽取所述谐振腔内的气体；

当检测到抽取气体使得所述谐振腔内的气压小于等于第一预设气压时，将保护气体回充入所述谐振腔内，且控制所述真空泵持续运行；

当检测到所述回充保护气体使得所述谐振腔内的气压大于等于第二预设气压时，控制所述真空泵停止运行，其中，所述第一预设气压小于所述第二预设气压。

2.根据权利要求1所述的抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法，其特征在于，所述方法还包括步骤：

对所述驱动装置、真空泵及所述谐振腔进行冷却。

3.根据权利要求1所述的抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法，其特征在于，所述驱动装置为涡轮泵或罗茨泵。

4.一种抑制气体激光器的谐振腔内油污染的系统，所述气体激光器包括谐振腔、真空泵、驱动装置，所述真空泵与所述谐振腔相连通，所述驱动装置驱动谐振腔内的工作气体流动，其特征在于，所述系统包括：

控制模块，用于在检测到所述驱动装置关机后，控制所述真空泵继续运行，并控制所述真空泵抽取所述谐振腔内的气体；

检测模块，用于检测所述谐振腔内的气压，并将检测的气压分别与第一预设气压和第二预设气压进行比较；

回充模块，用于当检测到抽取气体使得所述谐振腔内的气压小于等于第一预设气压时，将保护气体回充入所述谐振腔内，且所述控制模块还用于控制所述真空泵持续运行；

所述控制模块还用于当检测到所述回充保护气体使得所述谐振腔内的气压大于等于第二预设气压时，控制所述真空泵停止运行，其中，所述第一预设气压小于所述第二预设气压。

5.根据权利要求4所述的抑制气体激光器的谐振腔内油污染的系统，其特征在于，所述系统还包括：

冷却模块，用于对所述驱动装置、真空泵及所述谐振腔进行冷却。