[发明专利]石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置

权利要求书

1.石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置，其特征是它包括依次设在检测平台上的晶片承载装置、晶片检测段（1）、晶片收取装置和晶片拾取装置，所述晶片拾取装置从所述晶片承载装置内拾取晶片并移动至所述晶片检测段内进行检测，晶片拾取装置根据检测结果把晶片投入晶片收取装置内。

2.如权利要求1所述的石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置，其特征是所述晶片承载装置是承载晶片的承载板（2）。

3.如权利要求1所述的石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置，其特征是所述晶片检测段包括3个CCD摄像头，其中2个位于检测平台的台面上，另一个位于检测平台的台面下，晶片检测段所在的检测平台的台面可透光，当晶片置于3个CCD摄像头共同覆盖的区域之中时可从三个不同的方位对晶片进行立体检测。

4.如权利要求1所述的石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置，其特征是所述晶片收取装置包括两个并排设置的敞口盒（3）。

5.如权利要求1所述的石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置，其特征是所述晶片拾取装置包括固接在检测平台上的轴承座（4）和通过直线轴承与轴承座活动连接的直杆（5），所述直杆的末端连接有由步进电机（6）驱动可上下移动的拾取头（7）。

6.如权利要求5所述的石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置，其特征是所述步进电机上还连接有确定晶片位置并引导晶片拾取装置拾取晶片的检测探头（8）。

7.如权利要求2所述的石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置，其特征是所述承载板旁的检测平台上还设有装有晶片的料斗（9），所述料斗底部设有振荡器，通过振荡器振荡可使晶片撒到承载板上。