[发明专利]优化可制造性设计（DFM）的方法有效
| 申请号： | 201310022708.2 | 申请日： | 2013-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103577624B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 许强;郑彦威;曾衍迪;牟忠一;林进祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 优化 制造 设计 dfm 方法 | ||
1.一种优化可制造性设计(DFM)模拟的方法，所述方法包括：
接收具有特征的集成电路(IC)设计数据；
接收具有参数的工艺数据；
执行所述DFM模拟；以及
优化所述DFM模拟。
2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：使用被处理晶圆接收测量数据。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，执行所述DFM模拟包括：使用所述IC设计数据和所述工艺数据来生成模拟输出数据。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，优化所述DFM模拟包括：通过所述DFM模拟来生成所述参数的性能指数。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，生成所述参数的性能指数包括：找到模拟输出数据和测量数据之间的差别。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，优化所述DFM模拟包括：在外部循环上调整所述参数。
7.根据权利要求6所述的方法，进一步包括：在中间循环上调整所述参数的阶跃。
8.根据权利要求7所述的方法，进一步包括：在内部循环上调整所述参数的所述阶跃的等级。
9.一种优化可制造性设计(DFM)模拟的方法，所述方法包括：
接收具有特征的集成电路(IC)设计数据；
接收具有参数的工艺数据，其中，所述参数包括阶跃，并且所述阶跃进一步包括等级；
通过使用所述IC设计数据和所述工艺数据执行所述DFM模拟来生成输出数据；
使用被处理晶圆来接收测量数据；以及
优化所述DFM模拟，其中，优化所述DFM模拟包括：通过比较所述输出数据和所述测量数据来生成所述参数的性能指数。
10.一种用于优化可制造性设计(DFM)模拟的系统，所述系统包括：
网络系统；
计算系统，被配置成与所述网络系统相连接，其中，所述计算系统被配置成使用参数来执行所述DFM模拟并且通过定位所述参数的性能指数的最低点来优化所述DFM模拟；以及
数据存储系统，被配置成与所述网络系统相连接。
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