[发明专利]干涉滤波器、光学模块以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及干涉滤波器(interference filter)、光模块以及电子设备。

背景技术

已知有在基板的相对的面上相对地配置反射膜(光学膜)的干涉滤波器。这种干涉滤波器具有保持平行的一对基板和在该对基板上以具有一定间隔的间隙的方式形成的一对反射膜。

对于这种干涉滤波器，使光在一对反射膜之间进行反射、使与间隙对应的特定波长的光透过、并利用干涉使其他波长的光相互抵消，由此从入射光中分离出特定波长的光。

例如，在专利文献1公开的干涉滤波器(可变干涉滤波器)中，作为反射膜，使用了Au、Al、Cu等金属薄膜。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：特开平2-12218号公报

为了确保干涉滤波器的分光精度，作为反射膜所需的性能有：光的高反射特性以及透过特性。并且，需要反射特性及透过特性不因经时变化而下降。

但是，以金属薄膜作为反射膜很难满足反射特性和透过特性这两种相反的特性并兼备耐久性。特别是，如果反射膜的透过率低，在光检测器中检测透过光时将会有噪声，从而分光精度下降。因此，期望得到一种满足反射特性及透过特性并可长时间维持分光精度的反射膜的结构。

发明内容

本发明用于解决上述问题中的至少一部分，并且可以通过以下方式或应用例实现。

应用例1

本应用例涉及的干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中，上述反射膜包括：含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜，按原子数计，所述Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，上述Ag-Sm-Cu合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。

干涉滤波器中的反射膜具有透过光的透过特性和反射光的反射特性，例如，从外部透过一侧的反射膜入射到两个(一对)反射膜之间的光在反射膜之间进行反射，使特定波长的光从一侧或另一侧的反射膜透过。

根据本应用例，在干涉滤波器中，隔着间隙相对的反射膜包括：Ag-Sm-Cu合金膜。

而且，由于Ag-Sm-Cu合金膜具有上述组成，因此由于处理加工或经时变化的特性的下降会变小，可以更可靠的抑制干涉滤波器的性能下降。而且，如果Sm以及Cu的含量不足0.1％，则由于处理加工或经时变化的反射率下降会变大。如果Sm以及Cu的含量超过0.5％，则反射率会变低。进一步的，如果Sm以及Cu的含量的合计超过1.0％，则反射率会变低。

进一步地，由于Ag-Sm-Cu合金膜的厚度在10nm以上40nm以下，因此反射膜不仅具有光的反射特性而且还具有透过特性，特别是可以得到良好的透过特性，并可以确保满足性能的标准具的良好的分光精度。

应用例2

优选地，在上述应用例涉及的干涉滤波器中，上述反射膜为上述Ag-Sm-Cu合金膜的单层膜。

根据该结构，反射膜为由Ag-Sm-Cu合金膜形成的单层膜，因此反射膜在可见光波长范围内，在较宽的波长区域中具有高反射率。而且，在本发明中，将可见光波长范围设定为400nm以上700nm以下的范围。

应用例3

优选地，上述应用例涉及的干涉滤波器具备支撑上述反射膜的透光性基板，上述反射膜包括：介电膜以及上述Ag-Sm-Cu合金膜，并从靠近上述基板的位置开始依次设置上述介电膜、上述Ag-Sm-Cu合金膜。

根据该结构，反射膜从基板侧开始以介电膜、Ag-Sm-Cu合金膜的顺序设置，因此与没有设置介电膜的情况相比，可提高可见光波长范围内的短波长侧的反射率。

应用例4

优选地，在上述应用例涉及的干涉滤波器中，上述反射膜包括保护上述Ag-Sm-Cu合金膜的保护膜。

根据该结构，由于具有保护Ag-Sm-Cu合金膜的保护膜，因此由于流程加工或经时变化的反射膜中的合金膜的反射率下降会进一步变小，可进一步抑制干涉滤波器的性能下降。

应用例5

本应用例涉及的干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中，上述反射膜包括：含有银(Ag)、铋(Bi)以及钕(Nd)的Ag-Bi-Nd合金膜，按原子数计，所述Ag-Bi-Nd合金膜含有0.1％以上3.0％以下的Bi，且含有0.1％以上5.0％以下的Nd，上述Ag-Bi-Nd合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。

根据本应用例，在干涉滤波器中，隔着间隙相对的反射膜包括：Ag-Bi-Nd合金膜。