[发明专利]干涉滤波器、光学模块以及电子设备有效
| 申请号： | 201310012209.5 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103217732B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 新东晋;北原浩司;松下友纪 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G01N21/25;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干涉 滤波器 光学 模块 以及 电子设备 | ||
1.一种干涉滤波器，其特征在于，所述干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中，
所述反射膜包括：含有银Ag、钐Sm以及铜Cu的Ag-Sm-Cu合金膜，
按原子数计，所述Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，
所述Ag-Sm-Cu合金膜的厚度为10nm以上且小于30nm，
所述反射膜为所述Ag-Sm-Cu合金膜的单层膜。
2.一种干涉滤波器，其特征在于，所述干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中，
所述反射膜包括：含有银Ag、铋Bi以及钕Nd的Ag-Bi-Nd合金膜，
按原子数计，所述Ag-Bi-Nd合金膜含有0.1％以上3.0％以下的Bi，且含有0.1％以上5.0％以下的Nd，
所述Ag-Bi-Nd合金膜的厚度为10nm以上且小于30nm，
所述反射膜为所述Ag-Bi-Nd合金膜的单层膜。
3.一种光学模块，其特征在于，所述光学模块具备：
两个反射膜，隔着间隙相互面对；以及
检测部，检测透过了所述反射膜的光的光量，
所述反射膜包括：含有银Ag、钐Sm以及铜Cu的Ag-Sm-Cu合金膜，
按原子数计，所述Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，
所述Ag-Sm-Cu合金膜的厚度为10nm以上且小于30nm，
所述反射膜为所述Ag-Sm-Cu合金膜的单层膜。
4.一种光学模块，其特征在于，所述光学模块具备：
两个反射膜，隔着间隙相互面对；以及
检测部，检测透过了所述反射膜的光的光量，
其中，所述反射膜包括：含有银Ag、铋Bi以及钕Nd的Ag-Bi-Nd合金膜，
按原子数计，所述Ag-Bi-Nd合金膜含有0.1％以上3.0％以下的Bi，且含有0.1％以上5.0％以下的Nd，
所述Ag-Bi-Nd合金膜的厚度为10nm以上且小于30nm，
所述反射膜为所述Ag-Bi-Nd合金膜的单层膜。
5.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备具有：
两个反射膜，隔着间隙相互面对；
检测部，检测透过了所述反射膜的光的光量；以及
处理部，基于在所述检测部检测到的光的光量，实施分析处理，
其中，所述反射膜包括：含有银Ag、钐Sm以及铜Cu的Ag-Sm-Cu合金膜，
按原子数计，所述Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，
所述Ag-Sm-Cu合金膜的厚度为10nm以上且小于30nm，
所述反射膜为所述Ag-Sm-Cu合金膜的单层膜。
6.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备具有：
两个反射膜，隔着间隙相互面对；
检测部，检测透过了所述反射膜的光的光量；以及
处理部，基于在所述检测部检测到的光的光量，实施分析处理，
其中，所述反射膜包括：含有银Ag、铋Bi以及钕Nd的Ag-Bi-Nd合金膜，
按原子数计，所述Ag-Bi-Nd合金膜含有0.1％以上3.0％以下的Bi，且含有0.1％以上5.0％以下的Nd，
所述Ag-Bi-Nd合金膜的厚度为10nm以上且小于30nm，
所述反射膜为所述Ag-Bi-Nd合金膜的单层膜。
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