[发明专利]线性马达、元件安装装置以及元件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及线性马达、元件安装装置以及元件检查装置。

背景技术

一般，作为线性马达，已知有日本专利第0471903号公报(以下称作专利文献1)、日本专利第4580847号公报(以下称作专利文献2)所公开的轴型线性马达和日本专利第4705118号公报(以下称作专利文献3)所公开的带芯线性马达。

轴型线性马达采用如下结构：使多个圆筒形的线圈层叠而构成筒状的定子，在该定子(线圈)的孔内插入具有永久磁铁的杆作为动子，对构成定子的多个线圈流通相位相差120°的三相交流。在三相交流的通电时，在各线圈中产生磁场。通过该磁场的产生，动子在与定子之间受到沿轴线方向的推进力。通过该推进力，动子在上述轴线方向上移动。

带芯线性马达具备：沿着移动路径的直线状的励磁件以及与该励磁件在与移动路径正交的方向上相对置的电枢。励磁件例如设置在动子上。励磁件由多个永久磁铁构成。各永久磁铁沿着移动路径排列，表面侧的磁极交替地不同。电枢例如设置在定子上。电枢具备多个芯和卷绕在各芯周围的线圈。芯沿着与励磁件相向的方向延伸。对线圈施加三相交流的驱动电流。通过控制该驱动电流，芯的磁场移动。通过该磁场的移动，带芯线性马达使动子沿着永久磁铁的排列方向相对于该定子直线移动。

但是，在轴型线性马达中，在使多个线性马达相邻排列的情况下，有时会发生如下现象：在使一个线性马达所涉及的动子移动时，邻接的线性马达的动子会受其影响而移动。出现该现象的原因是，当相邻的线性马达间的距离短时，构成动子的励磁件的永久磁铁之间的相互吸引的磁力也变大。为了防止该现象，专利文献1、2的结构中，在相邻的线性马达间设置由磁性材料构成的屏蔽板。在设置了这种屏蔽板的情况下，构成动子的励磁件的永久磁铁的磁力线通过磁性材料的屏蔽板，因此屏蔽板能够屏蔽相邻的永久磁铁的磁场。其结果，相邻的动子之间难以受到彼此的磁场的影响。并且，在轴型线性马达中，屏蔽板具有增强永久磁铁的磁场的芯的作用，因此还提高动子的推力。

另一方面，在带芯线性马达中，在将多个线性马达接近地层叠的情况下，在相邻的线性马达间也有可能发生动子的随同移动。然而，在带芯线性马达中，在设置了与专利文献1、2相同的屏蔽板的情况下，会产生马达的推力下降这一新的问题。

图1是表示本申请发明人所实施的仿真结果的图。如图1所示，产生的推力F与对定子的线圈流通的电流I成正比例。然而，该比例系数基于屏蔽板的有无而发生变化。确认出以下情况：在设置了屏蔽板的情况下，与不存在屏蔽板的情况相比，产生的推力F降低几%以上。一般认为这是因为磁力线流过屏蔽板而使有效磁通量减少，从而导致磁场变弱。

发明内容

本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种能够在避免推力降低的情况下抑制因层叠时邻接的线性马达间的磁力引起的相互作用的线性马达、元件安装装置以及元件检查装置。

为了解决上述问题，本发明一方面涉及线性马达，该线性马达具备以一个动子和一个定子为一组的单位单元，并且能够并列设置多个所述单位单元，该线性马达包括：励磁件，设置于所述动子，由多个永久磁铁形成，该多个永久磁铁以各自的表面侧的磁极交替地不同的方式呈直线状排列；电枢，设置于所述定子，包括芯以及卷绕在该芯上的多个线圈；框架部件，收容所述单位单元，由非磁性体形成；屏蔽部件，设置于所述框架部件，由磁性体形成，在设置有多个所述单位单元的情况下介于相邻的所述单位单元间；开口部，形成于所述屏蔽部件，与收容在所述框架部件中的所述电枢邻接。在该线性马达中，能够并列设置多个单位单元来构成多轴线性马达。在邻接的单位单元间介有由磁性材料构成的屏蔽部件。在远离电枢的线圈的位置处，各单位单元的磁力线被屏蔽部件屏蔽，难以向邻侧的单位单元漏出。因此，在对任一单位单元的电枢通电来驱动设置在动子上的励磁件的情况下，与被通电的单位单元相邻的单位单元的励磁件不会受到随同移动等不良影响。并且，在屏蔽部件上形成有与收容在该框架部件中的电枢邻接的开口部。因此，构成励磁件的永久磁铁在该永久磁铁与电枢相向的位置处，被该开放部开放。其结果，在永久磁铁与电枢相向的位置处，被驱动的单位单元的磁力线大部分形成磁场而不被吸引至屏蔽部件。因此，在被驱动的励磁件与驱动该励磁件的电枢之间形成的磁场的有效磁通密度维持为稠密。另外，磁场的有效磁通密度难以受到屏蔽部件的不良影响。因此，能够尽可能地抑制单位单元原本所能够输出的推进力被屏蔽部件降低。