[发明专利]线性马达、元件安装装置以及元件检查装置

权利要求书

1.一种线性马达，具备以一个动子和一个定子为一组的单位单元，并且能够并列设置多个所述单位单元，该线性马达的特征在于包括：

励磁件，设置于所述动子，由多个永久磁铁形成，该多个永久磁铁以各自的表面侧的磁极交替地不同的方式呈直线状排列；

电枢，设置于所述定子，包括芯以及卷绕在该芯上的多个线圈；

框架部件，收容所述单位单元，由非磁性体形成；

屏蔽部件，设置于所述框架部件，由磁性体形成，在设置有多个所述单位单元的情况下介于相邻的所述单位单元间；

开口部，形成于所述屏蔽部件，与收容在所述框架部件中的所述电枢邻接。

2.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，

所述屏蔽部件是板金件，该板金件在所述励磁件的整个移动范围介于相邻的所述单位单元间，

所述开口部是切口，该切口形成在所述板金件中的与所述电枢相向的部位。

3.根据权利要求2所述的线性马达，其特征在于，

所述框架部件收容并列设置的多个所述单位单元，

所述板金件包括底板部以及与该底板部一体的侧板部，所述底板部固定在所述框架部件上，所述侧板部从所述底板部弯曲而介于邻接的所述单位单元间，

所述切口形成于所述侧板部。

4.根据权利要求3所述的线性马达，其特征在于，

所述框架部件将至少三个所述单位单元并列地收容，

所述板金件形成为在所述底板部的两侧分别设置有所述侧板部的“コ”形剖面，所述底板部被固定在与三个所述单位单元中的设置于中央的单位单元相向的位置，并且所述侧板部分别设置在设置于该中央的单位单元的两侧。

5.一种元件安装装置，具有将多个元件吸嘴分别上下驱动的驱动机构以及被该驱动机构升降驱动的元件保持部件，随着该元件保持部件的升降动作而从元件供给位置取出元件，并将元件安装到基板上，该元件安装装置的特征在于：

所述驱动机构是权利要求1~4中任一项所述的线性马达，该线性马达具有针对多个所述元件吸嘴中的每个元件吸嘴设置的所述单位单元。

6.根据权利要求5所述的元件安装装置，其特征在于，

构成所述驱动机构的多个所述单位单元并列设置在与所述励磁件和所述电枢相向的相向方向正交的方向上。

7.一种元件检查装置，具有将多个元件吸嘴分别上下驱动的驱动机构以及被该驱动机构升降驱动的元件保持部件，随着该元件保持部件的升降动作而从元件供给位置取出元件，并将元件放入预先设定的检查部和从该检查部取出元件，该元件检查装置的特征在于：

所述驱动机构是权利要求1~4中任一项所述的线性马达，该线性马达具有针对多个所述元件吸嘴中的每个元件吸嘴设置的所述单位单元。

8.根据权利要求7所述的元件检查装置，其特征在于，

构成所述驱动机构的多个所述单位单元并列设置在与所述励磁件和所述电枢相向的相向方向正交的方向上。