[发明专利]用于触控面板的透明体及制造透明体的方法

说明书

技术领域

本发明的实施例涉及制造用于触控面板的透明体的工艺与系统，以及根据这些工艺制造的透明体。

背景技术

触控面板(touch panel)为电子视觉显示器(electronic visual display)的一个特别的种类，所述触控面板能够在显示区域内检测且定位触碰(touch)。一般来说，触控面板包括配置在屏幕上用以感测(sense)触碰的透明体(transparent body)。这样的物体是实质上透明的，使得屏幕发出的可见光谱范围中的光可从中通过。至少一些已知的触控面板包括由阻障层(barrier)和透明导体组成的透明体，阻障层和透明导体依此顺序形成在基板上。在这种面板的显示区域上的触碰，通常在透明体的区域中产生可量测到的电容变化。电容的变化可用不同的技术来量测，使得碰触的位置能够被确定。

用于触控面板中的透明体需符合一些特定的要求。尤其，一个关键的要求是透明体对屏幕上多次接触的承受和严苛的环境是足够稳定的，如此触控屏幕的可靠度才不会向时间妥协。然而，触控面板中所包含的至少某些已知的透明体，因例如形成透明体的数个层的厚度、组成和结构，被视为是从中通过的光线的适当传播的强力干扰。此外，制造这样具有高品质的稳定的透明体，例如是有均匀且无缺陷 (defect-free)的阻障层，是有挑战性的。

另外，也考虑到用于触控面板有不同类型的透明体。光学性质的特别考量，例如呈现给使用者的外观，需要被纳入对透明体的考量，其中用来量测电容变化的导电层是结构化的导电层。

要考虑的另一方面是显示器尺寸稳定地持续增加，其中除了上述的光学性质以外，对电学性质的兴趣也逐渐提升。因此，期望一种薄膜基底平板显示器和触控屏幕技术的设计，此种设计提供隐形(invisible)物体，所述物体依据导电性被图案化(例如是触碰感测结构)且相较于传统结构能展现出更优异的光学和电学性质表现。

于是，期望用于形成用在触控面板中的高品质透明体的工艺和装置，使得透明体稳定地形成在基板上，而不妥协于可见光谱范围中的光的适当穿透，和改善的电学性质。

发明内容

有鉴于上述，提供了根据独立权利要求1的一种工艺、根据独立权利要求8 的一种装置和根据独立权利要求18的一种设备。本发明的其他方面、优点和特征是由从属权利要求、说明书和所附附图来表明。

根据一实施例，提供了制造用于触控面板的透明体的一种工艺。此工艺包括选择性地沉积第一透明层堆迭(layer stack)于透明基板之上，其中所述第一透明层堆迭至少包括第一介电膜和第二介电膜，第一介电膜具有第一折射率，第二介电膜具有第二折射率，第二折射率不同于第一折射率。此工艺包括沉积结构化 (structured)的透明导电膜在第一透明层堆迭之上，其中结构化的透明导电膜对应 100欧姆/平方(Ohm/sq)或更低的片电阻；沉积第二透明层堆迭在透明导电膜之上，其中所述第二透明层堆迭至少包括第三介电膜和第四介电膜，第三介电膜具有第三折射率，第四介电膜具有不同于第三折射率的第四折射率，其中第一透明层堆迭(若提供)、结构化的透明导电膜和第二透明层堆迭依此顺序被提供。根据替代性的实施例，具有不同于第三折射率的第四折射率的透明黏着物(transparent adhesive)，可以被提供来替代第四介电膜。

根据另一实施例，提供了适用于触控面板中的透明体。透明体包括透明基板、和选择性的第一透明层堆迭，第一透明层堆迭沉积在透明基板之上，其中所述透明层堆迭至少包括第一介电膜和第二介电膜，第一介电膜具有第一折射率，第二介电膜具有不同于第一折射率的第二折射率。层堆迭包括透明导电膜和第二透明层堆迭，透明导电膜沉积在第一透明层堆迭之上，其中结构化的透明导电膜具有100 Ohm/sq或更低的片电阻，第二透明层堆迭沉积在透明导电膜之上，其中所述第二透明层堆迭至少包括第三介电膜和第四介电膜，第三介电膜具有第三折射率，第四介电膜具有不同于第三折射率的第四折射率。根据替代性的实施例，具有不同于第三折射率的第四折射率的透明黏着物，可以被提供来替代第四介电膜。