[发明专利]用于清洁气体喷射器的系统和方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求于2011年12月7日提交的序列号为61/567,693的美国临时申请和于2012年10月12日提交的序列号为13/650,429的美国正式申请的权益。

技术领域

本发明涉及一种清洁气体喷射器的内表面的系统和方法。

背景技术

将气体喷射器用作等离子体处理系统的部分，该等离子体处理系统用于诸如半导体晶片之类的衬底的等离子体处理。这些应用要求气体喷射器不受到污染，因为污染物将可能产生不可接受的制造产品(work product)。通常，通过人工擦洗内表面至一定程度，用超声波进一步清洁，从而清洁喷射器。相信这样的过程不会使喷射器不受诸如陶瓷和氧化钇颗粒之类的颗粒污染。本发明人已经认识到需要有替代上述清洁工艺的替代方案，并且更具体地，需要用于从喷射器的受限表面(confined surface)去除诸如陶瓷和氧化钇颗粒之类的颗粒的更有效的替代方案。

发明内容

根据本发明的主题，提供喷射器清洁装置来清洁气体喷射器的内表面。喷射器清洁装置和相关联的过程用于从喷射器的受限表面去除颗粒，例如陶瓷颗粒和氧化钇颗粒。喷射器清洁装置可以用来清洁或冲洗掉常规擦洗和超声波清洁后产生的颗粒。

根据本发明的一个实施方式，喷射器清洁装置包括同心双流导引器和流分散喷射器座。所述同心双流导引器包括：内部同心清洁流体(cleaning fluid)流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通；外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通；以及输入侧喷射器接合界面。该输入侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部(rigid facing portion)。所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌(surges)，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接(abutment)并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。所述流分散喷射器座包括输出侧喷射器接合界面，该输出侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。

根据本发明的另一实施方式，喷射器清洁装置包括同心双流导引器、流分散喷射器座、内部流量控制模块和外部流量控制模块。所述同心双流导引器包括：内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通；外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通；以及输入侧喷射器接合界面。该输入侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部(rigid facing portion)。所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌(surges)，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。所述流分散喷射器座还包括内基环、外基环和输出侧喷射器接合界面，该输出侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。所述内部流量控制模块被配置成调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动，并且所述外部流量控制模块被配置成调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动。