[发明专利]用于清洁气体喷射器的系统和方法有效
申请号: | 201280060293.1 | 申请日: | 2012-11-28 |
公开(公告)号: | CN104040689B | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 阿尔曼·阿沃杨;克利夫·拉克鲁瓦;石洪;艾伦·龙尼;约翰·多尔蒂;凯瑟琳·周 | 申请(专利权)人: | 朗姆研究公司 |
主分类号: | H01L21/205 | 分类号: | H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/302 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 李献忠 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 清洁 气体 喷射器 系统 方法 | ||
1.一种喷射器清洁装置,其包括同心双流导引器和流分散喷射器座,其中:所述同心双流导引器包括
内部同心清洁流体流动路径,其配置成与气体喷射器的中央通道连通,
外部同心清洁流体流动路径,其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通,以及
输入侧喷射器接合界面,其包括可压缩密封部和刚性护面部,所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性,以在用流体清洁时产生浪涌,该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止,且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙;并且
所述流分散喷射器座包括
输出侧喷射器接合界面,其包括可压缩密封部和刚性护面部,所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性,以在用流体清洁时产生浪涌,该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止,且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。
2.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置,其中,所述喷射器清洁装置还包括内部流量控制模块以调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动以及包括外部流量控制模块以调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动。
3.根据权利要求2所述的喷射器清洁装置,其中所述内部流量控制模块、所述外部流量控制模块、或两者都包括至少一个阀、至少一个压强调节器和至少一个流量调节器。
4.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置,其中所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部、所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部或所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部和所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部两者都包括O形环式密封件。
5.根据权利要求4所述的喷射器清洁装置,其中所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部和所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部两者都包括O形环式密封件。
6.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置,其中所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部设置在形成于所述同心双流导引器中的凹陷通道中,而所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部设置在形成于所述流分散喷射器座中的凹陷通道中。
7.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置,其中所述喷射器清洁装置还包括排放室以收集和排出从所述流分散喷射器座排放的流体。
8.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置,其中所述喷射器清洁装置还包括设置在所述流分散喷射器座和所述同心双流导引器之间的隔离环。
9.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置,其中所述流分散喷射器座还包括内基环和外基环。
10.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置,其中所有沾湿的表面都不是由不锈钢组成的。
11.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置,其中所述流分散喷射器座和所述同心双流导引器是由聚丙烯组成的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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