[发明专利]检查用照明装置以及检查用照明方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于例如对作为检查对象的产品照射检查光，进行该产品的外观或损伤、缺陷等的检查的检查用照明装置以及检查用照明方法。

背景技术

作为用于产品的外观检查等的检查用照明装置的一个实例，例举有同轴照明，所述同轴照明使如专利文献1示出那样的摄像的方向与对检查对象照明的方向一致。该同轴照明具有：朝水平方向射出检查光的光源；半透半反镜，所述半透半反镜被倾斜设置在所述检查对象和设置于该检查对象的上方的摄像装置之间，被配置为向所述检查对象反射所述检查光，且向摄像装置侧透射来自所述检查对象的反射光。

然而，近年来，寻求能够通过拍摄的图像检查出即使使用上述那样的检查用照明装置也难以检查出的缺陷等的特征点。更具体来说存在以下难以检查的事例：由于作为检查对象的产品的形状特殊或复杂，难以以充分的强度或光量照射检查光，即使能够照射检查光，由于来自想要检查的部分以外的反射光过多，或者，缺陷等的特征点过小或过于模糊，因此亮度差难以表现等。

例如，考虑通过使用光阑等将检查光的照射范围仅限定在检查对象，降低来自检查对象以外的作为反射光或散射光的杂散光，提高检查精度。然而，在检查对象小或模糊等情况下，变得难以检查出照射的光由于缺陷等的特征点而变化的变化量，缺陷和正常部分的亮度差越来越难以分辨。

又，检查对象有为平面的情况，也有形成微妙的凸面或者凹面的情况，检查对象的各点的照射立体角的倾斜状况没有变为适合检查对象的状态也成为缺陷的检查不能顺利进行的原因。然而，以往，在检查用照明装置中不知道能够将检查对象的各点的照射立体角的倾斜状况或照射立体角的大小适当设定成适合检查对象的状况。

因此，需要以下的检查用照明装置，所述检查用照明装置即使对于如上所述那样的缺陷与正常部分的差异难以表现于所拍摄的图像的产品，也能够通过机器视觉检查出缺陷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-261839号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于如上所述的课题而做出的，其目的在于，提供一种即使在例如照明条件十分苛刻、或者缺陷等的特征点非常小且模糊的情况下，也能够通过检查光根据在该特征点的光的变化量，表现出亮度差等的差异的检查用照明装置以及检查用照明方法。更具体来说，提供一种能够使被射出的检查光的大部分到达检查对象，且能够调节检查对象的各点的检查光的照射立体角的倾斜状况以及照射立体角的大小，能够进行符合检查对象的形状或特性的检查的检查用照明装置以及检查用照明方法。

解决问题的手段

即，本发明的检查用照明装置的特征在于，具有：射出检查光的面光源；透镜，所述透镜在从所述面光源射出的检查光的光轴上，被设置在检查对象和所述面光源之间；以及

第一光阑，所述第一光阑被设置在所述面光源以及所述透镜之间，或者被设置在所述透镜以及所述检查对象之间，所述面光源以及所述透镜的相对于所述检查对象的位置被设定为所述面光源成像的成像面位于所述检查对象的附近，所述第一光阑的相对于所述透镜的位置被设定为，使由入射至所述成像面的外周部的检查光规定的照射立体角的中心轴相对于所述光轴平行，或者，自光轴偏离且仅倾斜规定量。

又，本发明的检查用照明方法是一种使用检查用照明装置的检查用照明方法，所述检查用照明装置具有：射出检查光的面光源；透镜，所述透镜位于从所述面光源射出的检查光的光轴上，被设置在检查对象和所述面光源之间；以及第一光阑，所述第一光阑被设置在所述面光源以及所述透镜之间，或者被设置在所述透镜以及所述检查对象之间，所述检查用照明方法的特征在于，具有：成像位置设定步骤，设定所述面光源以及所述透镜的相对于所述检查对象的位置，以使得所述面光源成像的成像面位于所述检查对象的附近；以及照射立体角斜度调节步骤，设定所述第一光阑的相对于所述透镜的位置，以使由入射至所述成像面的外周部的检查光规定的照射立体角的中心轴相对于所述光轴平行，或者，自光轴偏离且倾斜规定量。