[发明专利]检查用照明装置以及检查用照明方法

权利要求书

1.一种检查用照明装置，其特征在于，具有：

射出检查光的面光源；

透镜，所述透镜在从所述面光源射出的检查光的光轴上，被设置在检查对象和所述面光源之间；以及

第一光阑，所述第一光阑被设置在所述面光源以及所述透镜之间，或者被设置在所述透镜以及所述检查对象之间，

所述面光源以及所述透镜的相对于所述检查对象的位置被设定为所述面光源成像的成像面位于所述检查对象的附近，

所述第一光阑的相对于所述透镜的位置被设定为，使由入射至所述成像面的外周部的检查光规定的照射立体角的中心轴相对于所述光轴平行，或者，自光轴偏离且仅倾斜规定量。

2.根据权利要求1所记载的检查用照明装置，其特征在于，

所述第一光阑被配置在所述透镜的焦点的外侧，以使得所述照射立体角的中心轴从所述成像面的外周侧向中心侧倾斜。

3.根据权利要求1所记载的检查用照明装置，其特征在于，

所述第一光阑被配置在所述透镜的焦点的内侧,以使得所述照射立体角的中心轴从所述成像面的中心侧向外周侧倾斜。

4.根据权利要求1所记载的检查用照明装置，其特征在于，

所述第一光阑被配置在所述透镜的焦点上，以使得所述照射立体角的中心轴与所述光轴平行。

5.根据权利要求1所记载的检查用照明装置，其特征在于，

所述第一光阑的位置是基于由所述照射立体角的中心轴和所述光轴构成的角以及所述面光源通过所述透镜成像的所述成像面的倍率而设定的光阑。

6.根据权利要求1所记载的检查用照明装置，其特征在于，

调节从所述面光源射出的检查光的射出面积的第二光阑被设置在所述光源的附近。

7.根据权利要求1所记载的检查用照明装置，其特征在于，

在所述检查对象与拍摄所述检查对象的摄像装置之间进一步设置第三光阑。

8.根据权利要求7所记载的检查用照明装置，其特征在于，

在所述第三光阑和所述摄像装置之间进一步设置第四光阑。

9.根据权利要求7所记载的检查用照明装置，其特征在于，

进一步具有半透半反镜，所述半透半反镜被配置为将从所述面光源射出的检查光向所述检查对象反射，且使来自所述检查对象的反射光透射，

将所述第三光阑配置在照射光路和反射光路重叠的部分，所述照射光路是所述检查光从所述光源到所述检查对象的光路，所述反射光路至少包括从所述检查对象到所述半透半反镜的光路。

10.一种使用于检查用照明装置的检查用照明方法，所述检查用照明装置具有：射出检查光的面光源；透镜，所述透镜位于从所述面光源射出的检查光的光轴上，被设置在检查对象和所述面光源之间；以及第一光阑，所述第一光阑被设置在所述面光源以及所述透镜之间，或者被设置在所述透镜以及所述检查对象之间，

所述检查用照明方法的特征在于，具有：

成像位置设定步骤，设定所述面光源以及所述透镜的相对于所述检查对象的位置，以使得所述面光源成像的成像面位于所述检查对象的附近；以及

照射立体角斜度调节步骤，设定所述第一光阑的相对于所述透镜的位置，以使由入射至所述成像面的外周部的检查光规定的照射立体角的中心轴相对于所述光轴平行，或者，自光轴偏离且倾斜规定量。

11.根据权利要求10所记载的检查用照明方法，其特征在于，

进一步具有第一光阑量调节步骤，光阑调节所述第一光阑的光阑量，从而使所述成像面的大小与所述检查对象的大小大致相同。