[发明专利]薄膜太阳电池模组及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种串联了多个单元(Cell)的薄膜太阳电池模组(Module)及其制造方法。

背景技术

近年，不需要燃料、不排放温室效应气体的太阳光发电受到了广泛的注目。作为太阳光发电中所使用的太阳电池模组，熟知的例如有使用了非晶硅或微结晶硅等的薄膜硅、ＣＩＳ类薄膜等的化合物类薄膜等的薄膜太阳电池模组。

例如，就ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组而言，具有如下结构，即，在基板上依次积层了作为发电元件的里面电极层、光吸收层、及透明导电膜，这些层被多个分割沟分割为多个(本文中，多个指2个以上)单元，并相互串联。例如，作为通过去除里面电极层上的光吸收层来制作分割沟的方法，熟知的有使用针的机械划线法、使用激光的激光划线法(例如，参照专利文献1)。

另外，为了提高这样的ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组的效率，在形成光吸收层时，向光吸收层中添加钠(Ｎａ)等碱金属的技术是熟知的。光吸收层中所添加的钠(Ｎａ)等碱金属的一部分扩散至里面电极层，并残留在里面电极层中。也就是说，里面电极层中含有钠(Ｎａ)等碱金属(例如，参照专利文献2)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]特开2011－165864号公报

[专利文献2]特开2011－129631号公报

发明内容

[发明要解决的课题]

但是，就上述专利文献2所公开的那样的、向光吸收层中添加了钠(Ｎａ)等碱金属的薄膜太阳电池模组而言，在采用专利文献1所公开的方法形成了分割沟的情况下，本发明的发明人发现，作为薄膜太阳电池模组的特性之一的曲线因子(ＦＦ：Ｆｉｌｌ Ｆａｃｔｏｒ)的恶化超出了想象。

作为特性恶化的理由，本发明的发明人认为，其原因在于，在形成透明导电膜时，里面电极层中所含有的钠(Ｎａ)等碱金属扩散至分割沟部分的透明导电膜，结果导致分割沟部分的电阻值变高。

本发明是鉴于上述问题而提出的，其课题为，提供一种可对特性恶化进行抑制的太阳电池模组及其制造方法。

[用于解决课题的手段]

本薄膜太阳电池模组的制造方法的特征在于具有：在基板上对里面电极层进行成膜的里面电极层成膜步骤；向所述里面电极层中添加碱金属的碱金属添加步骤；在所述里面电极层上进行光吸收层的成膜的光吸收层成膜步骤；形成对所述光吸收层进行分割的分割沟，并在所述分割沟内使所述里面电极层的表面露出的分割沟形成步骤；在所述分割沟内露出的所述里面电极层的表面，进行所述里面电极层和所述碱金属的合金化的合金化步骤；以及、在所述光吸收层上及所述分割沟内进行透明导电膜的成膜的透明导电膜成膜步骤。

本薄膜太阳电池模组的特征在于具有：基板；在所述基板上被成膜的里面电极层；在所述里面电极层上被成膜的光吸收层；对所述光吸收层进行分割，并使所述里面电极层的表面露出的分割沟；在所述光吸收层上及所述分割沟内被成膜的透明导电膜。并且其中，所述里面电极层中添加了碱金属，在所述分割沟内露出的所述里面电极层的表面，形成了所述里面电极层和所述碱金属的合金。

[发明的效果]

根据所公开的技术，能够提供一种可对特性恶化进行抑制的太阳电池模组及其制造方法。

附图概述

[图1]对本实施方式的ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组进行例示的平面图。

[图2]沿图1的Ａ－Ａ线的部分截面图。

[图3]沿图1的Ｂ－Ｂ线的截面图。

[图4]对本实施方式的ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组的制造步骤进行例示的图(其1)。

[图5]对本实施方式的ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组的制造步骤进行例示的图(其2)。

[图6]对本实施方式的ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组的制造步骤进行例示的图(其3)。

[图7]对本实施方式的ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组的制造步骤进行例示的图(其4)。

[图8]对本实施方式的ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组的制造步骤进行例示的图(其5)。

[图9]对本实施方式的ＣＩＳ类薄膜太阳电池模组的制造步骤进行例示的图(其6)。

[图10]对各样本的变换效率进行例示的图。

[图11]对碱金属和里面电极层的合金化抑制碱金属向透明导电膜扩散的效果进行例示的图(其1)。

[图12]对碱金属和里面电极层的合金化抑制碱金属向透明导电膜扩散的效果进行例示的图(其2)。

本发明的实施方式