[发明专利]装载工位

说明书

基板加载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成保持受控制的环境；以及传送机器人，其连接到框架；以及，一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于框架中的基板盒保持架。一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成在可与传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中一个或多个基板盒保持位置配置成实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以便改变基板加载工位的基板盒保持容量。

技术领域

公开的实施例的方面大体而言涉及半导体加工装备并且更特定而言，涉及半导体加工装备的装载和卸载。

背景技术

在某些情况下，半导体加工时间很长，有时要数小时。为了允许半导体加工装备在这些较长的加工时间不间断地操作，设置多个基板盒。一般而言，常规半导体加工装备容纳了装备前端模块(EFEM)，其中在线性地定位成一排的装载端口上放置多达四个盒。这些线性布置的盒由传送机器人接近，传送机器人大体上沿着线性引导轨道行进以允许传送机器人接近每个盒。这种EFEM配置可能不足以满足以很长的加工时间制造半导体产品使得半导体产品的制造具有成本效益的半导体制造商的需要。

将有利地提供一种用于半导体加工装备的装载和卸载工位，其能向半导体加工装备供应足量的盒使得以具有成本效益方式执行半导体产品的制造。

发明内容

根据本发明的优选实施例，提供了一种基板装载工位，包括：框架，其形成一种配置成用以保持受控制的环境的腔室；传送机器人，其连接到所述框架；以及一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于所述框架内的基板盒保持架，所述一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成用以在可与所述传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中所述一个或多个基板盒保持位置配置成实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以用于改变所述基板装载工位的基板盒保持容量并且在对于具有基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量的基板盒保持位置而言共同的所述框架内从第一最大数量到不同的第二最大数量改变由基板盒保持位置能够同时保持的基板盒的最大数量，使得所述共同的框架的基板盒保持容量具有可互换的基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量。

根据本发明的优选实施例，提供了一种基板加工工具，包括：基板加工部段；以及基板装载工位，其可连通地连接到所述基板加工部段，所述基板装载工位包括：框架，其形成腔室，传送机器人，其连接到所述框架；以及一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于所述框架内的基板盒保持架，所述一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成用以在可与所述传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中所述一个或多个基板盒保持位置配置成用以实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以用于改变所述基板装载工位的基板盒保持容量并且在对于具有基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量的基板盒保持位置而言共同的所述框架内从第一最大数量到不同的第二最大数量改变由基板盒保持位置能够同时保持的基板盒的最大数量，使得所述共同的框架的基板盒保持容量具有可互换的基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量。

根据本发明的优选实施例，提供了一种基板加工装置，包括：基板装载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成用以保持受控制的环境；以及基板盒保持架，所述基板盒保持架配置成用以保持一个或多个基板盒并置以由基板传送机器人从一个或多个基板盒传送基板，其中基板盒保持架限定具有可选的可互换性特点的基板盒数量保持容量使得基板盒保持工位的盒数量保持容量可以根据对于可选的可互换性特点的选择来在基板盒保持位置的第一最大数量与基板盒保持位置的第二最大数量之间进行可互换性地选择，其中对于所述基板盒保持位置的第一最大数量和所述基板盒保持位置的第二最大数量而言所述基板盒保持架是共同的。

附图说明

结合附图考虑，在以下描述中解释了公开的实施例的前述方面和其它特点，在附图中：